[发明专利]一种载具及成膜方法

说明书

本发明提供了一种载具及成膜方法，涉及成膜技术领域。载具包括：载板及设置在载板的第一表面上复数个横竖交错的成膜容置位；所述成膜容置位具有第一区域和环绕第一区域的第二区域；在第一区域放置待镀件的情况下，待镀件的反面放置在载具上，待镀件的正面和至少部分侧面裸露以供成膜溶液在所述待镀件的正面和至少部分侧面成膜，滞留的所述成膜溶液收纳在所述第二区域；所述待镀件的正面与反面相对。滞留的成膜溶液，特别是为侧面成膜所滞留的成膜溶液会收纳在载具的成膜容置位的第二区域，而不会掉落至成膜设备的工作台上，不会污染成膜设备的工作台，保证成膜连续进行，载具上的成膜容置位是复数个，实现了量产化。

技术领域

本发明涉及成膜技术领域，特别是涉及一种载具及成膜方法。

背景技术

在待镀件的表面成膜，应用于各个领域。例如，在电池片电镀金属之前，给电池片的正面以及侧面制作掩膜。

发明人在研究上述现有的成膜技术的过程中发现：在给待镀件成膜的过程中，成膜溶液容易污染成膜设备的工作台，导致成膜无法连续进行。

发明内容

本发明提供一种载具及成膜方法，旨在解决在给待镀件成膜的过程中，成膜溶液容易污染成膜设备的工作台，导致成膜无法连续进行的问题。

本发明的第一方面，提供一种载具，包括：

载板及设置在载板的第一表面上复数个横竖交错的成膜容置位；所述成膜容置位具有第一区域和环绕第一区域的第二区域；

在第一区域放置待镀件的情况下，待镀件的反面放置在载具上，待镀件的正面和至少部分侧面裸露以供成膜溶液在所述待镀件的正面和至少部分侧面成膜，滞留的所述成膜溶液收纳在所述第二区域；所述待镀件的正面与反面相对，所述待镀件的侧面连接所述正面和所述反面。

本发明实施例中，待镀件的侧面与正面和反面均相交，待镀件的正面和至少部分侧面裸露，使得成膜溶液在待镀件的正面和至少部分侧面成膜，同时，滞留的成膜溶液，特别是为侧面成膜所滞留的成膜溶液会收纳在载具的成膜容置位的第二区域，而不会掉落至成膜设备的工作台上，进而不会污染成膜设备的工作台，进而可以保证成膜连续进行，而且，载具上的成膜容置位是复数个，也就是一次性可以为多个待镀件成膜，实现了量产化。综上所述，本申请可以实现量产的连续成膜。

可选的，所述第一表面为水平面，所述第一表面包括复数个横竖交错的分表面，一个分表面及位于所述分表面上的区域形成一个成膜容置位；

一个分表面包括连通的第一子表面和第二子表面，第一子表面及位于第一子表面上的区域形成第一区域，第二子表面及位于第二子表面上的区域形成第二区域，所述载板中与各个第一子表面对应的位置分别设置有吸附件，在第一子表面上放置待镀件的情况下，待镀件的侧面全部裸露，吸附件将所述第一子表面和所述待镀件吸附为一个整体。

可选的，所述第一表面上设置有复数个横竖交错的凹槽；凹槽具有槽底和槽壁，槽底和槽壁构成凹槽的内部空间；所述凹槽的顶端与所述第一表面平齐；

一个凹槽的内部空间为一个成膜容置位，一个凹槽的内部空间包括连通的第一子空间和第二子空间，所述第二子空间环绕所述第一子空间，所述第一子空间为第一区域，所述第二子空间为第二区域；

或，

相邻的凹槽之间具有间隙，一个凹槽以及环绕所述凹槽的间隙为所述成膜容置位，凹槽的内部空间为第一区域，环绕所述凹槽的间隙为第二区域；

或，相邻的凹槽之间具有间隙，一个凹槽以及紧邻所述凹槽的间隙为所述成膜容置位，凹槽的内部空间包括连通的第三子空间和第四子空间，所述第三子空间为第一区域，所述第四子空间和紧邻所述凹槽的间隙，两者一起环绕所述第三子空间，所述第四子空间和紧邻所述凹槽的间隙形成第二区域。