[发明专利]一种基于低能X射线电离的真空电气设备真空度检测方法

权利要求书

1.一种基于低能 X 射线电离的真空电气设备真空度检测方法，其特征在于，X 射线机发射 X 射线照射在真空电气设备的真空腔内；真空电气设备的真空腔上导电杆连接负极性直流高压，屏蔽罩和下导电杆接地，通过工频变压器和整流二极管施加负极性直流电压；将采集电阻与被测真空电气设备串联，两者串联后与滤波电容并联，采集装置采集电离电流；利用X射线对气体分子的电离作用，可使真空电气设备真空腔内残留的微量气体分子产生稳定的电离电流，在相同的电压和照射剂量下，该电流值与气体分子数相关，因此该电流值与真空电气设备的真空度有关，通过这一关系即可确定真空电气设备的真空度。

2.根据权利要求 1 所述的一种基于低能X 射线电离的真空电气设备真空度检测方法，其特征在于，包括以下：

步骤S1： 逐级负极性直流电压，升高至10kV时，打开 X 射线机，照射真空腔，进行电流数据记录；

步骤S2： 关闭X射线机，重复步骤S2,保持X射线机每次照射位置一致；

步骤S3： 对电离电流数据进行分析，通过公式计算得到真空腔的真空度；通过以上步骤完成对真空腔真空度的检测。

3.根据权利要求 2 所述的基于X 射线电离的真空电气设备真空度检测方法，其特征在于，所述的步骤 S1 所述的开始照射，每次照射的时间一样。

4.根据权利要求 2 所述的基于X 射线电离的真空电气设备真空度检测方法，其特征在于，所述的步骤 S3 所述的找到对电离电流进行分析，具体的做法为根据计算的结果求得平均值，即为对真空度的检测。

5.根据权利要求 1 所述的基于X 射线电离的真空电气设备真空度检测方法，其特征在于，X 射线的产生通过便携式民用脉冲 X 射线机，其管电压为 100kV；射线机的出射孔与真空腔的距离为 4cm。

6.根据权利要求 1 所述的基于X 射线电离的真空电气设备真空度检测方法，其特征在于，采集装置的灵敏度为0.1pC；满足检测精度高的目的。

7.根据权利要求 1 所述的基于X射线电离的真空电气设备真空度检测方法，其特征在于，为了减少 X 射线向外泄露保护操作者，使用厚度为 10mm 的铅屏蔽将 X射线机封闭，只留直径为 5cm 的出射孔。

8.根据权利要求 1 所述的基于X 射线电离的真空电气设备真空度检测方法，其特征在于，X 射线的透射强度大，完全能够穿透真空腔的真空壁；虽然真空腔的结构复杂，但是X 射线均能够穿透。

9.根据权利要求 1 所述的基于X 射线电离的真空电气设备真空度检测方法，其特征在于，提出的方法完全可对真空度为10^-3Pa的真空腔进行检测，检测效果非常明显。