[发明专利]一种碲硒砷镉化合物、靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种碲硒砷镉化合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）将碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒混合均匀，置于研磨机内研磨成粉末，碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒三者的摩尔比为(60-90): (0.999-39.99): (0.001～0.01)；

2）将上述研磨好的混合物料装入石墨坩埚内，将石墨坩埚放入带有液压装置的真空烧结炉内，液压装置将坩埚内的混合物料压实，抽真空至10^-9Torr，然后向真空烧结炉内充保护气体，抽真空与充保护气循环，循环过程中真空烧结炉内气压始终低于大气压，最后对石墨坩埚密封，并充保护气体使真空烧结炉内气压在0.1-100Torr之间；所述保护气为氩氢混合气；

3）对密封好的石墨坩埚进行加热，升温速率为1～5℃/min，加热至700～900℃，保温30～60min，保温结束后，停止加热，自然降温至室温，即得碲硒砷镉化合物。

2.根据权利要求1所述碲硒砷镉化合物的制备方法，其特征在于，步骤1）中碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒的纯度均为5N级以上；所述研磨机为行星研磨机。

3.根据权利要求1所述碲硒砷镉化合物的制备方法，其特征在于，步骤1）中碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒研磨成粉末，研磨时间4-6h，粉末粒径为不大于200微米。

4.一种碲硒砷镉化合物，其特征在于，由权利要求1-3任一所述制备方法制得。

5.一种碲硒砷镉靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）将碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒混合，置于研磨机内研磨成粉末，碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒三者的摩尔比为(60-90): (0.999-39.99): (0.001～0.01)；

2）将上述混合均匀的物料放入模具中室温压片成靶材坯，压片成形的靶材坯装入石墨治具内，将石墨治具放入带有液压装置的真空烧结炉内，抽真空至10^-9Torr，然后向真空烧结炉内充保护气体，最后对石墨治具密封，使用真空烧结炉自带的液压装置对石墨治具内的靶材坯加压保持为50MPa-80MPa ，并充保护气体使真空烧结炉内气压在0.1-100Torr之间；

3）对密封好的石墨治具进行加热，升温速率为1～3℃/min，加热至800～900℃，保温1～2h，保温结束后，停止加热，自然降温至室温，打开真空烧结炉得到碲硒砷镉靶材。

6.根据权利要求5所述碲硒砷镉靶材的制备方法，其特征在于，步骤1）中碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒的纯度均为5N级以上；所述研磨机为行星研磨机。

7.根据权利要求5所述碲硒砷镉靶材的制备方法，其特征在于，步骤2）中压片成靶材坯时的压强为50MPa-80MPa ，靶材坯为厚度6mm-10mm的平面圆形或平面长方形。

8.根据权利要求5所述碲硒砷镉靶材的制备方法，其特征在于，步骤2）中将石墨治具放入带有液压装置的真空烧结炉内，抽真空与充保护气循环，循环过程中真空烧结炉内气压始终低于大气压。

9.一种碲硒砷镉靶材，其特征在于，由权利要求5-8任一所述制备方法制得。