[发明专利]一种薄膜探针卡及其探针头

权利要求书

1.一种薄膜探针卡，包括PCB板（1）、连接件（2）以及薄膜探针头（3）；所述薄膜探针头（3）包括提供一作用面（311）的支撑体（31）、覆在支撑体（31）的作用面（311）上的薄膜（32）以及设置在薄膜（32）上的探针（33）和互连线（34）；其特征在于：

所述支撑体（31）的作用面（311）与薄膜（32）之间设有一斜面支撑结构（35）；所述斜面支撑结构（35）包括一斜面结构（351）以及一支撑弹性层（352），所述斜面结构（351）包括相对作用面（311）固定的一个或多个斜面（3511），所述斜面（3511）面向探针（33），与探针（33）位置相对应；

所述支撑弹性层（352）垫设在斜面结构（351）与薄膜（32）之间，支撑弹性层（352）的朝向斜面结构（351）的表面与斜面结构（351）相匹配抵靠；

以此，所述支撑弹性层（352）上位于每个探针（33）两侧的部分具有厚度差。

2.根据权利要求1所述薄膜探针卡，其特征在于：所述斜面支撑结构（35）还包括一支撑刚性体（353），所述支撑刚性体（353）固定覆设在支撑体（31）的作用面（311）上，所述斜面结构（351）设在支撑刚性体（353）的朝向探针（33）的那侧表面上。

3.根据权利要求1所述薄膜探针卡，其特征在于：所述支撑体（31）中部具有一向下突出的凸部，该凸部的下表面作为所述作用面（311）；所述支撑体（31）上在凸部的外围设有供与PCB板（1）相抵的连接面（312），该连接面（312）也被所述薄膜（32）覆盖，在对应于连接面（312）的薄膜（32）部位也设有探针（33），所述支撑体（31）的连接面（312）与薄膜（32）之间也设有一所述斜面支撑结构（35），该斜面支撑结构（35）中的支撑弹性层（352）垫设在连接面（312）与薄膜（32）之间。

4.一种薄膜探针头，其特征在于：包括提供一作用面的支撑体（31）、覆在支撑体（31）的作用面（311）上的薄膜（32）、以及设置在薄膜（32）上的探针（33）和互连线（34）；其特征在于：

所述支撑体（31）的作用面（311）与薄膜（32）之间设有一斜面支撑结构（35）；所述斜面支撑结构（35）包括一斜面结构（351）以及一支撑弹性层（352），所述斜面结构（351）包括相对作用面（311）固定的一个或多个斜面（3511），所述斜面（3511）面向探针（33），与探针（33）位置相对应；

所述支撑弹性层（352）垫设在斜面结构（351）与薄膜（32）之间，支撑弹性层（352）的朝向斜面结构（351）的表面与斜面结构（351）相匹配抵靠；

以此，所述支撑弹性层（352）上位于每个探针（33）两侧的部分具有厚度差。

5.根据权利要求4所述薄膜探针头，其特征在于：所斜面支撑结构（35）还包括一支撑刚性体（353），所述支撑刚性体（353）固定覆设在支撑体（31）的作用面（311）上，所述斜面结构（351）设在支撑刚性体（353）的朝向探针（33）的那侧表面上。

6.根据权利要求4所述薄膜探针头，其特征在于：所述支撑体（31）中部具有一向下突出的凸部，该凸部的下表面作为所述作用面（311）；所述支撑体（31）上在凸部的外围设有供与PCB板相抵的连接面（312），该连接面（312）也被所述薄膜（32）覆盖，在对应于连接面（312）的薄膜（32）部位也设有探针（33），所述支撑体（31）的连接面（312）与薄膜（32）之间也设有一所述斜面支撑结构（35），该斜面支撑结构（35）中的支撑弹性层（352）垫设在连接面（312）与薄膜（32）之间。