[发明专利]高熵合金旋转靶材及其冷喷涂的制备方法在审
| 申请号： | 202111433186.6 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114086142A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 徐从康;贺涛;马赛;陈箫箫 | 申请（专利权）人： | 亚芯半导体材料（江苏）有限公司;亚芯电子科技（常州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C24/04;B22F9/04;B22F1/142 |
| 代理公司： | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人： | 赵慧 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 合金 旋转 及其 喷涂 制备 方法 | ||
1.一种采用冷喷涂制备高熵合金旋转靶材的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1，对金属粉末进行球磨预合金化，得到预合金化粉末；
步骤2，对所述预合金化粉末在真空下进行退火后，研磨、过筛，制得预处理粉末；
步骤3，对基材进行预处理，得到预处理基材；
步骤4，将所述预处理粉末冷喷涂到所述预处理基材的表面。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，
所述球磨预合金化的步骤为：向金属粉末中加入过程控制剂，并在真空下进行球磨。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，
对所述预合金化粉末进行退火的温度为1100～1300℃，保温时间为0.5～2h。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，
所述预处理粉末的粒径不超过50μm。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，
对基材进行预处理的步骤为：对基材表面进行喷砂、漂洗并使用有机溶剂去油。
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，
所述喷砂使用的砂粒为SiC，粒度为16～36目。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，
将所述预处理粉末冷喷涂到所述预处理基材的表面的具体步骤为：
采用高温压缩气体作为助推气体，将所述预处理粉末从喷嘴喷出后，喷涂至所述预处理基材的表面。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，
所述高温压缩气体为空气、氮气或氦气；
所述高温压缩气体的温度为400～600℃，压力为1～10MPa。
9.如权利要求7所述的方法，其特征在于，
所述喷嘴到基材的距离为15～30mm；
所述喷嘴的移动速度为50～100mm/s。
10.一种采用如权利要求1所述的方法制得的高熵合金旋转靶材，其特征在于，
所述高熵合金旋转靶材的相对密度不低于99％，长度可达到5000mm，靶材单边厚度可达到4mm。
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