[发明专利]一种薄膜探针卡及其探针头

权利要求书

1.一种薄膜探针卡，包括PCB板（1）、连接件（2）以及薄膜探针头（3）；所述薄膜探针头（3）包括提供一作用面（311）的支撑体（31）、覆在支撑体（31）的作用面（311）上的薄膜（32）以及设置在薄膜（32）上的探针（33）和互连线（34）；其特征在于：

所述支撑体（31）的作用面（311）与薄膜（32）之间设有一凹陷支撑结构（35）；所述凹陷支撑结构（35）包括一刚性凹陷结构（351）以及一支撑弹性层（352），所述刚性凹陷结构（351）包括相对作用面（311）固定的一个或多个刚性的凹陷（3511），所述凹陷（3511）与探针（33）位置相对应，且各凹陷（3511）与所对应的探针（33）在作用面（311）上的投影位置相偏心；

所述支撑弹性层（352）嵌在刚性凹陷结构（351）与薄膜（32）之间，支撑弹性层（352）上对应于刚性凹陷结构（351）的凹陷（3511）设有凸起嵌块（3521），支撑弹性层（352）的凸起嵌块（3521）嵌入对应凹陷（3511）中；

以此，所述支撑弹性层（352）上位于每个探针（33）两侧的部分具有厚度差。

2.根据权利要求1所述薄膜探针卡，其特征在于：所述凹陷（3511）为其竖向截面为柱状或锥台状的凹槽，在上下方向上投影所述探针（33）跨在对应的凹槽的外轮廓线上。

3.根据权利要求1所述薄膜探针卡，其特征在于：所述凹陷（3511）为其竖向截面为半球形或球冠形的凹槽，在上下方向上投影所述探针（33）位于对应的凹槽的外轮廓线之内，但探针（33）的中心与凹槽的中心相错开。

4.根据权利要求1所述薄膜探针卡，其特征在于：所述凹陷支撑结构（35）还包括一支撑刚性体（353），所述支撑刚性体（353）固定覆设在支撑体（31）的作用面（311）上，所述刚性凹陷结构（351）设在支撑刚性体（353）的上。

5.根据权利要求1所述薄膜探针卡，其特征在于：所述支撑体（31）中部具有一向下突出的凸部，该凸部的下表面作为所述作用面（311）；所述支撑体（31）上在凸部的外围设有供与PCB板（1）相抵的连接面（312），该连接面（312）也被所述薄膜（32）覆盖，在对应于连接面（312）的薄膜（32）部位也设有探针（33），所述支撑体（31）的连接面（312）与薄膜（32）之间也设有一所述凹陷支撑结构（35），该凹陷支撑结构（35）中的支撑弹性层（352）嵌在连接面（312）与薄膜（32）之间。

6.一种薄膜探针头，其特征在于：包括提供一作用面的支撑体（31）、覆在支撑体（31）的作用面（311）上的薄膜（32）、以及设置在薄膜（32）上的探针（33）和互连线（34）；其特征在于：

所述支撑体（31）的作用面（311）与薄膜（32）之间设有一凹陷支撑结构（35）；所述凹陷支撑结构（35）包括一刚性凹陷结构（351）以及一支撑弹性层（352），所述刚性凹陷结构（351）包括相对作用面（311）固定的一个或多个刚性的凹陷（3511），所述凹陷（3511）与探针（33）位置相对应，且各凹陷（3511）与所对应的探针（33）在作用面（311）上的投影位置相偏心；

所述支撑弹性层（352）嵌在刚性凹陷结构（351）与薄膜（32）之间，支撑弹性层（352）上对应于刚性凹陷结构（351）的凹陷（3511）设有凸起嵌块（3521），支撑弹性层（352）的凸起嵌块（3521）嵌入对应凹陷（3511）中；

以此，所述支撑弹性层（352）上位于每个探针（33）两侧的部分具有厚度差。

7.根据权利要求6所述薄膜探针头，其特征在于：所述凹陷（3511）为其竖向截面为柱状或锥台状的凹槽，在上下方向上投影所述探针（33）跨在对应的凹槽的外轮廓线上。

8.根据权利要求6所述薄膜探针头，其特征在于：所述凹陷（3511）为其竖向截面为半球形或球冠形的凹槽，在上下方向上投影所述探针（33）位于对应的凹槽的外轮廓线之内，但探针（33）的中心与凹槽的中心相错开。