[发明专利]一种集成式压力芯体在审
申请号: | 202111434232.4 | 申请日: | 2021-11-29 |
公开(公告)号: | CN114199425A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 管武干;王耀;徐春冬 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18;G01L9/06 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 朱沉雁 |
地址: | 210094 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成 压力 | ||
1.一种集成式压力芯体,其特征在于:包括阀座(2)、MEMS压力芯片(1)、CMOS调理芯片(8)、PCB转接板(4)、钢珠(3)、波纹膜片(10)、保护盖(5)、四根第一可伐丝(6)、七根第二可伐丝(7)、若干金丝(9),阀座(2)为回转体,自两端向中心分别开有第一凹槽和第二凹槽,第一凹槽和第二凹槽之间的阀座(2)上环形均匀分布8个第一通孔(2-1),7个第一通孔(2-1)中分别固定一根第二可伐丝(7),第8个第一通孔作为充油孔,MEMS压力芯片(1)固定在第一凹槽槽底中心,CMOS调理芯片(8)固定在第二凹槽槽底中心,MEMS压力芯片(1)电气接口通过金丝(9)绑定在金属阀座(2)的第二可伐丝(7)上,第一凹槽的槽口固定有波纹膜片(10),充油后充油口通过钢珠(3)进行封接;PCB转接板(4)上设有第一焊盘(4-1)和第二焊盘(4-2),PCB转接板(4)的第一焊盘(4-1)焊接固定在金属阀座七根第二可伐丝(7)上,且位于第二凹槽内;CMOS调理芯片(8)的电气端通过金丝(9)绑定在PCB转接板(4)的第二焊盘(4-2)上;保护盖(5)固定在阀座(2)的一端,且与第二凹槽固连;保护盖(5)上环形均匀分布4个第二通孔,每个第二通孔内固定一根第一可伐丝(6),PCB转接板(4)上的电气端与金属保护盖(5)上的第一可伐丝(6)一端用导线连接,第一可伐丝(6)另一端对外连接。
2.根据权利要求1所述的集成式压力芯体,其特征在于:阀座(2)为金属材质,保护盖(5)为金属材质,金属保护盖(5)与阀座(2)之间采用低温激光焊接成一体。
3.根据权利要求2所述的集成式压力芯体,其特征在于:通过玻璃粉分别将七根第二可伐丝(7)穿孔烧结固定在阀座(2)的上第一通孔(2-1)中。
4.根据权利要求2所述的集成式压力芯体,其特征在于:通过玻璃粉分别将四根第一可伐丝(6)穿孔烧结固定在保护盖(5)的第二通孔中。
5.根据权利要求2所述的集成式压力芯体,其特征在于:钢波纹膜片(10)采用不锈钢,焊接在第一凹槽槽口。
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