[发明专利]多尺寸晶圆快速切换模组

权利要求书

1.一种多尺寸晶圆快速切换模组，其特征在于，包括：

内环形模组(1)，包括内环形底板(11)、一体成形于内环形底板(11)的内环形侧板(12)、固定于内环形侧板(12)顶部的内环形顶板(13)、固定于内环形侧板(12)外侧壁的定位销钉(14)以及固定于内环形侧板(12)外侧壁的滑动塞块(15)，所述内环形底板(11)、内环形侧板(12)以及内环形顶板(13)共同限定成容置小尺寸晶圆的内容置腔；

外环形模组(2)，包括外环形底板(21)、一体成型于外环形底板(21)的外环形侧板(22)、固定于外环形侧板(22)顶部的外环形顶板(23)；所述外环形底板(21)上设置有与定位销钉(14)适配的销孔(211)，所述外环形底板(21)、外环形侧板(22)以及外环形顶板(23)共同限定成容置大尺寸晶圆的外容置腔，且外环形顶板(23)上设置有避让定位销钉(14)的销钉避让口(231)；所述滑动塞块(15)与外环形底板(21)和外环形顶板(23)的间隙相适配。

2.根据权利要求1所述的多尺寸晶圆快速切换模组，其特征在于：所述内环形侧板(12)的一侧开设有内进出口(121)，所述内进出口(121)宽度与需容置的小尺寸晶圆直径相适配；所述外环形侧板(22)的一侧开设有外进出口(221)，所述外进出口(221)宽度与需容置的大尺寸晶圆直径相适配。

3.根据权利要求2所述的多尺寸晶圆快速切换模组，其特征在于：所述内环形顶板(13)上开设有供晶圆装载工具进出的内装载避让口(131)；所述外环形顶板(23)上开设有供晶圆装载工具进出的外装载避让口(233)。

4.根据权利要求1所述的多尺寸晶圆快速切换模组，其特征在于：所述内环形底板(11)和内环形顶板(13)的间隙以及外环形底板(21)和外环形顶板(23)的间隙与其对应的晶圆厚度相适配。

5.根据权利要求1所述的多尺寸晶圆快速切换模组，其特征在于：所述定位销钉(14)包括销钉固定座(141)以及一体成型于销钉固定座(141)上方且与所述销孔(211)适配的销钉(142)，所述销钉固定座(141)固定于内环形侧板(12)上。

6.根据权利要求1所述的多尺寸晶圆快速切换模组，其特征在于：所述定位销钉(14)的数量为两个或者多个，均布于内环形侧板(12)的外侧壁上，对应的所述销孔(211)以及所述销钉避让口(212)的数量也为两个或者多个。

7.根据权利要求1所述的多尺寸晶圆快速切换模组，其特征在于：所述滑动塞块(15)包括滑块固定座(151)、一体成型于滑块固定座上方的夹持部(152)以及滑动设置于夹持部(152)的滑块(153)，所述夹持部(152)的端部设置有弹性塞柱(154)，所述外环形顶板(23)上设置有避让夹持部(152)的夹持部避让口(232)。

8.根据权利要求7所述的多尺寸晶圆快速切换模组，其特征在于：所述滑动塞块(15)还包括紧固螺钉，所述夹持部(152)的顶部开设有与紧固螺钉配合的螺纹孔，且在滑块(153)上设置有对应的紧固槽，所述紧固螺钉穿设于所述螺纹孔和紧固槽内。

9.根据权利要求7所述的多尺寸晶圆快速切换模组，其特征在于：所述滑动塞块(15)的数量为多个，均布于内环形侧板(12)的外侧壁上，对应的所述夹持部避让口(232)数量也为多个。

10.根据权利要求1所述的多尺寸晶圆快速切换模组，其特征在于：所述内容置腔对应的晶圆尺寸为8寸，所述外容置腔对应的晶圆尺寸为12寸。