[发明专利]一种沉积均匀的磁控管及其设计方法

权利要求书

1.一种沉积均匀的磁控管，其特征在于：包括外磁极磁铁和内磁极磁铁，且外磁极磁铁和内磁极磁铁磁极性相反，外磁极磁铁和内磁极磁铁构成闭合环，此闭合环形成等离子体轨道，所述等离子体轨道中心线的长度L分布随靶材中心距离(x)的变化为L＝axⁿ，其中a是任意常数，n是变量，所述n值由公式

拟合计算获得。

2.根据权利要求1所述的沉积均匀的磁控管，其特征在于：所述等离子体轨道接近或通过靶材中心，且其旋转扫过除靶材边缘外的大部分靶材表面。

3.根据权利要求2所述的沉积均匀的磁控管，其特征在于：所述等离子体轨道旋转扫过位置距靶材边缘的距离为0-5mm。

4.一种沉积均匀的磁控管的设计方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：确定靶材、晶圆的大小，以及所需要的理想的靶材和晶圆之间的距离的大小；

S2：通过公式

拟合计算，确定所需要的L＝axⁿ公式中的n值；

S3：构建一个由内外磁极磁铁构成的闭合环，将靶材分成若干同心圆，并计算相邻同心圆间等离子体轨道中心线的长度；并通过调试闭合环的分布，使得该闭合环所形成的等离子体轨道的中心线的长度L分布随靶材中心距离(x)的变化满足：L≈axⁿ。

5.根据权利要求4所述的沉积均匀的磁控管的设计方法，其特征在于：在步骤S3中，所述的闭合环的中心线的中心接近或经过靶材中心。

6.根据权利要求5所述的沉积均匀的磁控管的设计方法，其特征在于：在步骤S3中，构建所述的闭合环时，将靶材分成5-10个同心圆。

7.根据权利要求6所述的沉积均匀的磁控管的设计方法，其特征在于：在步骤S3中，构建所述的闭合环时，采用软件进行自动计算相邻同心圆间等离子体轨道中心线的长度。