[发明专利]介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置

权利要求书

1.一种介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置，其特征在于：包括真空腔室(1)、加热棒(7)、吸气剂容器(21)、金属电极介质板(24)、扩压器(10)、供气系统、气压采集系统、抽真空系统和放电系统，其中真空腔室(1)前端与扩压器(10)连接，所述扩压器(10)与供气系统连接，真空腔室(1)后端分别通过管路与抽真空系统和气压采集系统连接，吸气剂容器(21)和金属电极介质板(24)交错设于所述真空腔室(1)中，且所述吸气剂容器(21)内设有加热棒(7)和吸气剂材料，所述金属电极介质板(24)下端与设于真空腔室(1)外侧的放电系统相连。

2.根据权利要求1所述的介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置，其特征在于：所述真空腔室(1)前端设有前法兰(9)与所述扩压器(10)后端密封连接，所述真空腔室(1)后端设有两个后法兰(14),且其中一个后法兰(14)通过第一管路与抽真空系统连接，另一个后法兰(14)通过第二管路与气压采集系统连接，所述真空腔室(1)上侧设有盖板(2)，且所述盖板(2)与真空腔室(1)上端密封连接，所述加热棒(7)穿过所述盖板(2)后插入到对应的吸气剂容器(21)中。

3.根据权利要求2所述的介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置，其特征在于：所述吸气剂容器(21)上端与所述盖板(2)一体固连，所述吸气剂容器(21)下端螺纹连接有封盖(22)，所述吸气剂容器(21)壁面带孔。

4.根据权利要求3所述的介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置，其特征在于：所述吸气剂容器(21)为壁面带孔的空心筒体结构。

5.根据权利要求1所述的介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置，其特征在于：所述放电系统包括高压交流电源(23)和真空电极法兰(26)，其中真空腔室(1)下侧设有腔体法兰(28)，且所述真空电极法兰(26)分别与对应的腔体法兰(28)密封连接，所述金属电极介质板(24)下端穿过对应的腔体法兰(28)后与对应的真空电极法兰(26)连接，所述真空电极法兰(26)通过导线(25)与所述高压交流电源(23)相连。

6.根据权利要求5所述的介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置，其特征在于：任意相邻两个金属电极介质板(24)之间均设有一个吸气剂容器(21)，且相邻两个金属电极介质板(24)中，其中一个金属电极介质板(24)与所述高压交流电源(23)的高压输出接线端A相连，另一个金属电极介质板(24)与所述高压交流电源(23)的低压输出接线端B相连，并且所述高压交流电源(23)的低压输出接线端B同时与地线(27)连接。

7.根据权利要求1所述的介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置，其特征在于：所述扩压器(10)为一端粗、另一端细的空心金属圆筒，且所述扩压器(10)的粗端与所述真空腔室(1)连接，所述扩压器(10)的细端通过气体管路(11)与供气系统连接。

8.根据权利要求1所述的介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置，其特征在于：所述供气系统包括依次串联的供气气源(13)和质量流量计(12)。

9.根据权利要求1所述的介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置，其特征在于：所述抽真空系统包括真空泵(16)，且所述真空泵(16)与所述真空腔室(1)之间的管路上设有阀门(15)。

10.根据权利要求1所述的介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置，其特征在于：所述气压采集系统包括依次串联的真空计(17)、真空计显示器(18)、数字信息采集卡(19)和电脑(20)。