[发明专利]一种锌掺杂氧化铟粉体、溅射靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种锌掺杂氧化铟粉体的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将铟盐、锌盐、沉淀剂和水混合后，进行水热反应，得到前驱体混合溶液；所述水热反应的温度为150～250℃，时间为5～20h；

2)将所述步骤1)中的前驱体混合液依次进行洗涤、干燥和煅烧，得到锌掺杂氧化铟粉体；所述煅烧的温度为400～800℃。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1)铟盐中的铟原子与锌盐中锌原子的摩尔比为1～2.5:1。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中铟盐为硝酸铟、硫酸铟和氯化铟中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中锌盐为硫酸锌、硝酸锌和氯化锌中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中沉淀剂为氨水、氢氧化钠和草酸中的至少一种。

6.根据权利要求1或5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中铟盐、锌盐、沉淀剂和水混合后的pH值为5～11。

7.权利要求1～6任意一项所述的制备方法制备得到的锌掺杂氧化铟粉体，其特征在于，所述锌掺杂氧化铟粉体的粒径为100～800nm，纯度大于99.99％。

8.一种权利要求7所述锌掺杂氧化铟粉体制备溅射靶材的方法，其特征在于，包括以下步骤：

将所述锌掺杂氧化铟粉体依次进行预成型、成型和烧结得到溅射靶材。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述预成型的压力为30～80MPa；所述烧结的温度为1450～1600℃，烧结的时间为5～20h。

10.权利要求8～9任意一项所述的方法制备得到的溅射靶材，其特征在于，所述溅射靶材的主相为Zn₃In₂O₆，矩形残余相为In₂O₃，相对密度大于99.2％，平均晶粒尺寸为3～10μm。