[发明专利]一种金属缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种金属缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S100：在烧瓶中加入10～30重量份的噻吩羧酸物质；

S200：向所述烧瓶中加入50～200重量份的第一溶剂及0～30重量份的添加物，并不断搅拌进行反应，以得到包含中间体的溶液，所述中间体为噻吩羧酸物质和所述添加物反应得到的产物，其中，所述第一溶剂为二氯甲烷、三氯甲烷或甲苯，所述添加物为草酰氯或二氯亚砜，当所述添加物草酰氯为时，还需要向烧瓶中添加0.1～0.5重量份的催化剂；

S300：对所述包含所述中间体的溶液进行减压蒸发得到所述中间体，再加入二氧六环溶解所述中间体；

S400：将5～15重量份的甲硫氨酸和20～120重量份的碱性试剂加入10～20重量份的第二溶剂中进行溶解，其中，所述第二溶剂为水或二氧六环；

S500：将所述步骤S300得到的溶液加入所述步骤S400得到的溶液中，并不断搅拌至反应完全，以得到包含噻吩羧酸盐的溶液；

S600：将10～30重量份的酸性试剂加入所述包含噻吩羧酸盐的溶液中进行淬灭反应，得到包含金属缓蚀剂的溶液，再对所述包含金属缓蚀剂的溶液进行分离提纯，得到金属缓蚀剂。

2.如权利要求1所述的金属缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤S200具体包括：在冰水浴下，向所述烧瓶中加入50～200重量份的第一溶剂，滴加0～30重量份的添加物及滴加0.1～0.5重量份的催化剂，并搅拌2～4小时进行反应，以得到包含所述中间体的溶液。

3.如权利要求1所述的金属缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤S500具体包括：在冰水浴下，将所述步骤S300得到的溶液滴加入所述步骤S400得到的溶液中，并搅拌6～24小时进行反应，以得到包含噻吩羧酸盐的溶液。

4.如权利要求1所述的金属缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述碱性试剂为有机碱或无机碱。

5.如权利要求4所述的金属缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述有机碱为氢氧化钠、氢氧化钾或氢化钠。

6.如权利要求4所述的金属缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述无机碱为三乙胺、吡啶、二异丙基乙胺或醇钠。

7.如权利要求1所述的金属缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述催化剂为N,N-二甲基甲酰胺(DMF)。

8.如权利要求1所述的金属缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述酸性试剂为盐酸或稀硫酸。

9.一种金属缓蚀剂，其特征在于，由权利要求1-8任意一项所述的金属缓蚀剂的制备方法制备得到。

10.如权利要求9所述的金属缓蚀剂，其特征在于，所述噻吩羧酸物质为3-噻吩甲酸或2,5-二溴-3-噻吩甲酸，当所述噻吩羧酸物质为3-噻吩甲酸时，得到的所述金属缓蚀剂为TOP-Meth，当所述噻吩羧酸物质为2,5-二溴-3-噻吩甲酸时，得到的所述金属缓蚀剂为BTOP-Meth，其中，3-噻吩甲酸的结构式为：TOP-Meth的结构式为：2,5-二溴-3-噻吩甲酸的结构式为：BTOP-Meth的结构式为：