[发明专利]一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置

权利要求书

1.一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置，其特征在于，包括：

脉冲电源(1)、连接器(2)、电极垫(3)、高压电极(4)、第一石英介质层(5)、微腔(6)、气体填充室(7)、第二石英介质层(8)、低压电极(9)、中空石英框(10)、进气口(11)、改性小球(12)、镂空支撑柱(13)；

其中，所述第一石英介质层(5)下表面开有小圆微腔(6)，第一石英介质层(5)和第二石英介质层(8)之间设有气体填充室(7)，所述高压电极(4)和低压电极(9)分别印刷在第一石英介质层(5)和第二石英介质层(8)外表面，中空石英框(10)一边上设有进气口(11)与气体填充室(7)相通；

所述第一石英介质层(5)和第二石英介质层(8)之间设有镂空支撑柱(13)，镂空支撑柱(13)位于气体填充室(7)正中，镂空支撑柱(13)内部装有用于影响等离子体产生的改性小球(12)，所述改性小球(12)外壁开有若干圆形小孔。

2.根据权利要求1所述的一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置，其特征在于，产生紫外光的波长范围为169～171nm。

3.根据权利要求1或2所述的一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置，其特征在于，产生紫外光的波长为170nm。

4.根据权利要求3所述的一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置，其特征在于，放电气体为稀有气体，稀有气体包括氙气和氡气；

其中，氙气所占比例为85～100％，氡气所占比例为0～15％时，所产生紫外光的波长为170nm。

5.根据权利要求2所述的一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置，其特征在于，放电气体为稀有气体，稀有气体采用氩气、氯气和氙气；

其中，氩气所占比例为80～99.85％，氯气所占比例为0.15～5％；氙气所占比例为0～15％时，所产生紫外光的波长为171nm。

6.根据权利要求2所述的一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置，其特征在于，放电气体为稀有气体，稀有气体采用氩气、溴气和氙气；

其中，氩气所占比例为80～99.85％，氯气所占比例为0.15～5％，氙气所占比例为0～15％时，所产生紫外光的波长为169nm。

7.根据权利要求1所述的一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置，其特征在于，所述改性小球(12)为碳基小球；

所述改性小球(12)由改性后的细碳颗粒压制而成，内部呈海绵状，表面改性物质为铼氧化物。

8.根据权利要求7所述的一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置，其特征在于，碳基小球制备方法为：

将碳原料进行破碎，筛分，碳颗粒表面碱性处理改性活化、负载铼氧化物，热压成型得到碳基小球。

9.根据权利要求1所述的一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置，其特征在于，第一石英介质层(5)和第二石英介质层(8)均采用石英玻璃，长度为60mm,宽度为60mm，厚度为4mm，所述第一石英介质层(5)和第二石英介质层(8)之间设有镂空支撑柱(13)；

中空石英框(10)采用石英玻璃，厚度等于气体填充室(7)高度，为0.9～1.4mm；

高压电极(4)和低压电极(9)均采用导电材料制成，所述导电材料为金和铂等惰性金属，各电极的厚度为5μm～15μm；电极外部为宽2～4mm的边框，内部为网丝状；其中，高压电极(4)和低压电极(9)制备工艺为金属溅射或真空蒸镀。

10.根据权利要求1所述的一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置，其特征在于，所述微腔(6)为大小不一的半球形，所述微腔(6)半径分别为1.055mm和0.355mm。