[发明专利]光电振荡器

权利要求书

1.一种光电振荡器，其特征在于，包括：

光电循环回路，所述光电循环回路的第一端用于接收光信号，所述光电循环回路的第二端用于输出第一微波信号和第二微波信号；所述第二微波信号用于输入至所述光电循环回路并调制所述光信号，得到第一光微波信号；

所述光电循环回路包括具有悬臂梁波导的滤波模块，用于对所述第一光微波信号进行滤波得到第二光微波信号。

2.根据权利要求1所述的光电振荡器，其特征在于，所述滤波模块，包括：

基底；

微环滤波模块，位于所述基底上，包括所述悬臂梁波导；其中，所述微环滤波模块为环形；所述悬臂梁波导为脊形多模波导，用于产生所述第二光微波信号。

3.根据权利要求2所述的光电振荡器，其特征在于，所述微环滤波模块包括两个所述悬臂梁波导；所述两个悬臂梁波导位于所述微环滤波模块相对的两侧。

4.根据权利要求2所述的光电振荡器，其特征在于，所述微环滤波模块还包括：

模斑转换器，与所述悬臂梁波导的第一端连接，用于实现单模波导和多模波导之间的转换；其中，所述第一端为所述悬臂梁波导的任一端。

5.根据权利要求4所述的光电振荡器，其特征在于，所述微环滤波模块还包括：

第一半环形波导，两端分别与所述模斑转换器连接；其中，所述第一半环形波导为单模波导；

第二半环形波导，位于与所述第一半环形波导相对的一侧，两端分别与所述两个悬臂梁波导的第二端连接。

6.根据权利要求2所述的光电振荡器，其特征在于，所述悬臂梁波导包括：

绝缘结构，位于所述基底上，包括绝缘层，所述绝缘层中包括沿所述滤波模块环形延伸方向的空气槽；其中，所述空气槽的底部连通所述基底；

悬臂梁结构，位于所述空气槽上，且至少部分与所述绝缘层连接。

7.根据权利要求2所述的光电振荡器，其特征在于，所述滤波模块还包括：

直波导，位于所述基底上，且位于所述微环滤波模块的一侧，用于接收所述第一光微波信号并耦合至所述微环滤波模块中，并输出所述第二光微波信号。

8.根据权利要求1所述的光电振荡器，其特征在于，所述光电循环回路还包括：

电光调制模块、光电探测模块和射频分束模块；

所述电光调制模块，与所述滤波模块连接，用于接收所述光信号和所述第二微波信号；并输出调制后的所述第一光微波信号；

光电探测模块，与所述滤波模块连接，用于对滤波后产生的所述第二光微波信号进行拍频处理，以产生第三微波信号；

射频分束模块，与光电探测模块连接，用于接收所述第三微波信号，并将所述第三微波信号分成至少两路；其中，所述第一微波信号用于作为输出信号，所述第二微波信号输入至所述电光调制模块。

9.根据权利要求8所述的光电振荡器，其特征在于，所述光电循环回路还包括：

光放大模块，连接所述电光调制模块，用于放大或衰减所述第一光微波信号，并输出至所述滤波模块。

10.根据权利要求1所述的光电振荡器，其特征在于，所述光电振荡器还包括：

光输入模块，连接光电循环回路，用于提供所述光信号。