[发明专利]一种能实现自由旋转的电气导通工作台有效

专利信息
申请号: 202111453037.6 申请日: 2021-11-30
公开(公告)号: CN114179046B 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 宋勇超;刘轩;李志强;周伟;俞勤;陈楚杰;胡洋;黄金鹏;黄蓉 申请(专利权)人: 深圳市华腾半导体设备有限公司
主分类号: B25H1/14 分类号: B25H1/14;B25B11/00
代理公司: 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 代理人: 张曾明
地址: 518000 广东省深圳市南山区桃源街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 实现 自由 旋转 电气 工作台
【权利要求书】:

1.一种能实现自由旋转的电气导通工作台,其特征在于:包括安装底座、驱动电机、芯体以及吸附组件,所述驱动电机包括定子以及转子,所述定子安装在所述安装底座上,所述转子安装在所述定子上并可相对所述定子进行θ轴旋转;

所述吸附组件包括吸盘,所述吸盘安装在所述转子上,所述吸盘上形成有用于真空吸附的第一真空通道;

所述芯体穿过所述定子及所述转子安装在所述吸盘与所述安装底座之间,所述芯体上形成有用于真空吸附的第二真空通道,所述第二真空通道的一端与所述第一真空通道连通,以用于对待加工产品进行吸附固定;所述第二真空通道的另一端露出于所述安装底座;

所述第二真空通道包括第三吸附通道及第四吸附通道;

所述芯体包括固定件、旋转件、第一轴承、连接件以及第二轴承,所述固定件穿过所述定子安装在所述安装底座上,所述旋转件与所述吸盘固定连接且位于所述固定件背向所述安装底座的一侧,所述第一轴承安装在所述固定件与所述旋转件之间,所述连接件穿过所述旋转件与所述固定件连接,所述第二轴承安装在所述连接件与所述旋转件之间,所述连接件的轴线与所述转子的旋转轴线共线;

所述固定件上设置有第一固定气道以及第二固定气道,所述旋转件上设置有第一旋转气道以及第二旋转气道;

所述第一固定气道与所述第一旋转气道连通形成所述第三吸附通道,所述第一固定气道的一端开口露出于所述安装底座,所述第二固定气道与所述第二旋转气道连通形成所述第四吸附通道,所述第二固定气道的一端开口露出于所述安装底座;

所述安装底座上设置有沿X轴方向延伸的滑槽,所述定子及所述固定件均与所述滑槽滑动连接;

所述能实现自由旋转的电气导通工作台还包括θ轴防水盖、旋转密封圈以及X轴防水盖,所述θ轴防水盖及所述X轴防水盖环设于所述吸附组件的周缘,所述旋转密封圈密封安装在所述θ轴防水盖及所述X轴防水盖之间;

所述θ轴防水盖包括与所述吸盘相接的环状防水板以及沿所述环状防水板的外边沿向所述X轴防水盖所在方向弯折延伸的筒状防水板;

所述旋转密封圈包括主体部以及倾斜部,所述主体部安装在所述X轴防水盖上,所述倾斜部由所述主体部的内边沿向靠近所述环状防水板且远离所述吸盘的方向延伸形成。

2.根据权利要求1所述的能实现自由旋转的电气导通工作台,其特征在于:所述吸附组件还包括用于放置待加工产品的工作盘;

所述第一真空通道包括第一吸附通道及第二吸附通道,所述第一吸附通道用于将所述工作盘吸附在所述吸盘上;

所述工作盘上设置有通气孔,所述第二吸附通道与所述通气孔连通,以将放置于所述工作盘上的待加工产品吸附在所述工作盘上。

3.根据权利要求2所述的能实现自由旋转的电气导通工作台,其特征在于:所述吸盘朝向所述工作盘的一侧设置有第一定位槽以及第二定位槽,所述工作盘朝向所述吸盘的一侧设置有第三定位槽以及第四定位槽;

所述吸附组件还包括定位环以及定位销,所述定位环可限位于所述第一定位槽与所述第三定位槽之间,所述定位销可限位于所述第二定位槽与所述第四定位槽之间。

4.根据权利要求2所述的能实现自由旋转的电气导通工作台,其特征在于:所述第三吸附通道的一端与所述第一吸附通道连通,所述第四吸附通道的一端与所述第二吸附通道连通。

5.根据权利要求2所述的能实现自由旋转的电气导通工作台,其特征在于:所述第二吸附通道及所述第四吸附通道均位于所述转子的旋转轴线上,所述连接件上设置有与所述第四吸附通道连通的通孔。

6.根据权利要求1所述的能实现自由旋转的电气导通工作台,其特征在于:所述能实现自由旋转的电气导通工作台还包括绝缘板,所述绝缘板固定连接在所述转子与所述吸盘之间。

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