[发明专利]一种真空镀膜机用多规格密封圈镀膜工装及镀膜方法有效
申请号: | 202111455549.6 | 申请日: | 2021-12-01 |
公开(公告)号: | CN114351105B | 公开(公告)日: | 2023-06-02 |
发明(设计)人: | 李莎;蹤雪梅;冯森 | 申请(专利权)人: | 江苏徐工工程机械研究院有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 王玉 |
地址: | 221004 江苏省徐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 机用多 规格 密封圈 镀膜 工装 方法 | ||
1.一种真空镀膜机用多规格密封圈镀膜工装,其特征在于,包括圆柱形支撑底座(1)和悬挂齿臂(2),所述支撑底座(1)外圆周面排布有多个限位卡槽(3),所述悬挂齿臂(2)悬挂在所述限位卡槽(3)内;所述悬挂齿臂(2)至少设有两个,且两个悬挂齿臂(2)为一组。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用多规格密封圈镀膜工装,其特征在于,所述限位卡槽(3)的卡槽边到圆心延长线的夹角为2~5°。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用多规格密封圈镀膜工装,其特征在于,相邻限位卡槽(3)之间的圆心延长线夹角为4°。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用多规格密封圈镀膜工装,其特征在于,所述悬挂齿臂(2)在沿其长度方向分布有50~60个悬挂齿(4)。
5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机用多规格密封圈镀膜工装,其特征在于,每个悬挂齿(4)宽1.5~2.5mm。
6.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机用多规格密封圈镀膜工装,其特征在于,相邻悬挂齿(4)之间的间距6~6.5mm。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用多规格密封圈镀膜工装,其特征在于,所述支撑底座(1)的上底面和下底面分别分布有连接筋(5)。
8.一种镀膜方法,其特征在于,包括以下步骤:
使用权利要求1-7中任意一项所述的密封圈镀膜工装进行密封圈镀膜,将密封圈拉长,一端挂在悬挂齿臂(2)的悬挂齿(4)上面,然后紧贴圆柱面,将待镀膜面朝外,密封圈另一端挂在同组悬挂齿臂(2)的相应悬挂齿(4)上面,按照此方法将密封圈挂满整个悬挂齿臂(2);
将所述密封圈镀膜工装放在真空镀膜机的真空室中心轴线上随转盘进行转动即可完成镀膜。
9.根据权利要求8所述的镀膜方法,其特征在于,根据密封圈尺寸,调节同组悬挂齿臂(2)与支撑底座(1)圆心的连线之间的夹角为θ,将悬挂齿臂(2)安装进满足夹角θ的限位卡槽(3)内,悬挂齿臂(2)的组数为N,其中θ、N的计算公式为:
θ=180r/R,
N=[2R/r],N=1,2,3,4,...,
式中,θ—同组悬挂齿臂与支撑底座圆心的连线之间的夹角,r—密封圈半径,R—支撑底座半径,N—悬挂齿臂组数,[]—取整符号。
10.根据权利要求8所述的镀膜方法,其特征在于,所述悬挂齿臂组数N取整之后若在支撑座圆柱面仍有剩余区域,剩余扇形区域所对圆心角为X,且Xθ,则在剩余区域悬挂半径小于r的密封圈。
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