[发明专利]一种基于双光子聚合3D打印的微纳米结构加工方法

权利要求书

1.一种基于双光子聚合3D打印的微纳米结构加工方法，包括涂胶、双光子激光曝光、显影以及清洗步骤，其特征在于，在清洗步骤中：将显影后的微纳米结构置于低表面张力溶剂中，同时进行紫外光原位固化。

2.根据权利要求1所述的基于双光子聚合3D打印的微纳米结构加工方法，其特征在于，所述低表面张力溶剂的低于18mN.m^-1。

3.根据权利要求1所述的基于双光子聚合3D打印的微纳米结构加工方法，其特征在于，所述低表面张力溶剂选自正己烷、九氟甲基丁醚中的一种或两种的混合。

4.根据权利要求1所述的基于双光子聚合3D打印的微纳米结构加工方法，其特征在于，所述微纳米结构为镂空结构。

5.根据权利要求1所述的基于双光子聚合3D打印的微纳米结构加工方法，其特征在于，所述微纳米结构的最小尺寸为2微米以下。

6.根据权利要求1所述的基于双光子聚合3D打印的微纳米结构加工方法，其特征在于，所述微纳米结构为三维螺旋结构。

7.根据权利要求1所述的基于双光子聚合3D打印的微纳米结构加工方法，其特征在于，所述低表面张力溶剂为九氟甲基丁醚；显影采用的显影剂为丙二醇甲醚醋酸酯；所述紫外光波长为300～500nm。

8.根据权利要求1所述的基于双光子聚合3D打印的微纳米结构加工方法，其特征在于，双光子激光参数为：波长为700～1000nm；激光功率为10～30mW；激光扫描速度为100～500μm/s。