[发明专利]一种光刻机机架焊接用的防偏移装置及防偏移方法

说明书

本发明提供了一种光刻机机架焊接用的防偏移装置及防偏移方法，包括加持组件，加持组件包括第一U形板、U形杆、移动板、第一弹簧、第一电动伸缩杆、连接杆、滚珠、方杆、夹板。第一电动伸缩杆带动移动板在U形杆上滑动，移动板通过连接杆带动滚珠移动，滚珠与倾斜面接触并挤压，两个梯形块向相互靠近的方向移动，梯形块带动夹板在方杆上滑动，夹板与材料接触并将其固定，便于对不同规格的机架进行固定。旋钮通过螺杆带动移动块在定位杆移动，移动块带动第一U形板移动，第一U形板通过夹板带动材料移动，通过开关组启动第二电动伸缩杆，第二电动伸缩杆带动第三电动伸缩杆移动，第三电动伸缩杆带动电焊机移动，便于调节进行焊接，不会出现偏移的现象。

技术领域

本发明涉及光刻机机架焊接设备技术领域，特别涉及一种光刻机机架焊接用的防偏移装置及防偏移方法。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上；

光刻机机架在生产时需要使用到焊接装置，但是传统的焊接装置在焊接过程中大都容易出现偏移的现象，不便于工作人员使用生产，降低工作效率，同时传统的焊接装置大都不便于对不同规格的机架材料进行固定焊接，为此，提出一种光刻机机架焊接用的防偏移装置及防偏移方法。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例希望提供一种光刻机机架焊接用的防偏移装置及防偏移方法，以解决或缓解现有技术中存在的技术问题，至少提供一种有益的选择。

本发明实施例的技术方案是这样实现的：一种光刻机机架焊接用的防偏移装置，包括加持组件，所述加持组件包括第一U形板、U形杆、移动板、第一弹簧、第一电动伸缩杆、连接杆、滚珠、方杆、夹板；

所述第一U形板设为两个，所述第一U形板的两侧内壁上均固定安装有U形杆，所述U形杆上滑动连接有移动板，所述移动板的一侧与对应的U形杆的一侧内壁之间固定安装有第一弹簧，所述第一弹簧活动套设在对应的U形杆的外侧，所述第一U形板的一侧内壁上固定安装有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的输出端与对应的移动板的一侧固定连接，所述移动板的一侧固定安装有两个连接杆，所述连接杆的端部嵌装有滚珠，所述第一U形板的两侧内壁之间固定安装有方杆，所述方杆上滑动连接有两个夹板。

进一步优选的，所述夹板的一侧与对应的第一U形板的一侧内壁之间固定安装有第二弹簧，所述第二弹簧活动套设在对应的方杆的外侧，第二弹簧的设置，起到了复位的作用。

进一步优选的，所述夹板的一侧固定安装有梯形块，所述梯形块的一侧设为倾斜面，所述滚珠与倾斜面滚动接触，滚珠的设置，减小了摩擦力。

进一步优选的，所述加持组件的一侧设有调节组件，所述调节组件包括第二U形板、凹槽、螺杆、移动块、旋钮；

所述第二U形板的上表面开设有凹槽，所述凹槽的两侧内壁之间转动安装有螺杆，所述螺杆上螺纹连接有移动块，所述螺杆的端部延伸至第二U形板外并固定安装有旋钮。

进一步优选的，所述凹槽的两侧内壁之间固定安装有定位杆，所述定位杆与移动块滑动连接，所述第二U形板的上表面固定安装有固定块，定位杆的设置，起到了定位的作用。

进一步优选的，所述移动块的上表面与左侧的第一U形板的下表面固定连接，所述固定块的上表面与右侧的第一U形板的下表面固定连接，固定块的设置，起到了固定的作用。

进一步优选的，所述第二U形板的上表面固定安装有L形板，所述L形板的一侧内壁上固定安装有连接板，连接板的设置，起到了连接的作用。

进一步优选的，所述连接板的一侧固定安装有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的输出端固定安装有第三电动伸缩杆，所述第三电动伸缩杆的输出端固定安装有电焊机，第二电动伸缩杆的设置，起到了自动化作用。

本发明提供了一种光刻机机架焊接用的防偏移方法，包括以下步骤：