[发明专利]多孔质玻璃母材的制造方法及制造装置

权利要求书

1.一种玻璃母材的制造方法，将作为原料的液体状态的有机硅氧烷与载气在气化器内混合，通过加热使之气化后作为气体原料供给到燃烧器，使通过所述气体原料的燃烧而产生的玻璃微粒子沉积在起始材料上，由此制造多孔质玻璃母材，将其烧结，该制造方法中

使导入到所述气化器的载气中的水分浓度为3volppm以下。

2.根据权利要求1所述的玻璃母材的制造方法，其中使导入到所述气化器的载气中的水分浓度为1volppm以下。

3.根据权利要求1所述的玻璃母材的制造方法，其中使导入到所述气化器的载气中的水分浓度为0.1volppm以下。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃母材的制造方法，其中所述加热是利用经过预热的所述载气而进行的。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的玻璃母材的制造方法，其中所述加热是利用从经过加热器加热的所述气化器的内壁产生的热而进行的。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的玻璃母材的制造方法，其中使用氮气、氩气、氦气等惰性气体作为所述载气。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的玻璃母材的制造方法，其中使用氧气或氧气与惰性气体的混合气体作为所述载气。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的玻璃母材的制造方法，其中利用水分去除机构降低所述载气中的水分浓度。

9.根据权利要求8所述的玻璃母材的制造方法，其中所述水分去除机构并列设置着多个，切换使用。

10.根据权利要求8或9所述的玻璃母材的制造方法，其中对于通过所述水分去除机构降低了水分浓度的所述载气，一边测量气体中的露点，一边将其供给到所述气化器。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的玻璃母材的制造方法，其中所述载气以预热到200～300℃的状态供给到所述气化器。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的玻璃母材的制造方法，其中所述有机硅氧烷为八甲基环四硅氧烷。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的玻璃母材的制造方法，其中使包含所述有机硅氧烷的原料液中的水分浓度为20wtppm以下。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的玻璃母材的制造方法，其中利用另一水分去除机构降低包含所述有机硅氧烷的原料液中的水分浓度。

15.一种多孔质玻璃母材的制造装置，将作为原料的液体状态的有机硅氧烷与载气在气化器内混合，通过加热使之气化后作为气体原料供给到燃烧器，使通过所述气体原料的燃烧而产生的玻璃微粒子沉积在起始材料上，由此制造多孔质玻璃母材，该制造装置中

具备将所述载气中的水分去除后将载气供给到所述气化器的水分去除机构。

16.根据权利要求15所述的多孔质玻璃母材的制造装置，其中所述载气的水分去除机构并列地设置多个。

17.根据权利要求15或16所述的多孔质玻璃母材的制造装置，其还具备露点计，该露点计测量通过所述水分去除机构去除了水分的所述载气的露点。

18.根据权利要求15至17中任一项所述的多孔质玻璃母材的制造装置，其还具备将供给到所述气化器的所述载气预热的加热机构。

19.根据权利要求15至18中任一项所述的多孔质玻璃母材的制造装置，其中所述有机硅氧烷为八甲基环四硅氧烷。

20.根据权利要求15至19中任一项所述的多孔质玻璃母材的制造装置，其具备将包含所述有机硅氧烷的原料液中的水分去除后将所述原料液供给到所述气化器的另一水分去除机构。