[发明专利]一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂及应用

权利要求书

1.一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂，其特征在于，该稳定剂由有机膦酸或其盐与超存水组成的溶液，有机膦酸或其盐为对过氧化氢溶液中的金属离子具有螯合或络合作用的物质。

2.如权利要求1所述的一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂，其特征在于，稳定剂中有机膦酸或其盐与超存水的重量比为1-3：1-2。

3.如权利要求1所述的一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂，其特征在于，有机膦酸或其盐主要包括次氮基三亚甲基膦酸、1,2丙二胺四亚甲基膦酸、2-羟基膦酰基乙酸、二乙烯三胺五甲叉膦酸、羟基乙叉二磷酸、1-羟基亚乙基二膦酸。

4.如权利要求1所述的一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂，其特征在于，所述稳定剂可以是单一有机膦酸或其盐组成的溶液，也可以是两种或两种以上有机膦酸或其盐组成的混合溶液；所述电子级过氧化氢溶液含量为25-50%。

5.权利要求1-4任一所述稳定剂在电子级过氧化氢溶液中的应用。

6.权利要求5所述的应用，其特征在于，在洁净环境下，将所述稳定剂加入到电子级过氧化氢溶液中直接混合，稳定剂的加入量为有机膦酸或其盐的浓度范围在1-10mg/L。

7.如权利要求6所述的应用，其特征在于稳定剂的加入量为有机膦酸或其盐的浓度范围在1-5mg/L。

8.如权利要求6所述的应用，其特征在于稳定剂加入到电子级过氧化氢溶液前，进行预处理，所述预处理是指在洁净室内将有机膦酸或其盐溶液，经树脂进行纯化。

9.如权利要求8所述的应用，其特征在于有机膦酸或其盐溶液以1-10倍树脂体积/小时的流速依次通过一组或多组树脂提纯系统，再通过一组或多组滤芯循环系统过滤，控制稳定剂温度至5-25℃进入树脂提纯系统，其中，纯化装置与稳定剂接触部分的材质选用PTFE、FEP或PFA。

10.如权利要求9所述的应用，其特征在于所述有机膦酸或其盐溶液的流速为2-5倍树脂体积/小时，每一组树脂提纯系统中：阳离子交换树脂、混合树脂和阴离子树脂交换树脂的位置为随机组合，其中阳、阴树脂选用抛光树脂、电子级树脂或核级树脂。