[发明专利]基于飞秒真空紫外激光脉冲的液体束光电子影像装置

权利要求书

1.基于飞秒真空紫外激光脉冲的液体束光电子影像装置，包括飞秒激光器(1a)，其特征在于，飞秒激光器(1a)出射飞秒激光经第一分束镜(1b)分束为第一反射光和第一透射光，第一透射光经第二分束镜(1k)分束为第二反射光和第二透射光，第二透射光依次经过BBO倍频晶体(1r)、第一光程调节模块、以及第二聚焦透镜(1x)后入射合束片(1q)，第二反射光依次经半波片(1m)和第一聚焦透镜(1p)后入射合束片(1q)，合束片(1q)出射的合束光入射成丝及四波混频发生气池(2b)，四波混频发生气池(2b)出射光通过真空接口入射第一真空腔体(2e)并由第一真空腔体(2e)内的反射镜调整入射角度后，再通过真空接口入射第二真空腔体(3c)中并作用于从熔融石英喷嘴(4d)喷出的液体束透明区，

第一反射光依次经光参量放大器(1c)和第二光程调节模块后，再依次经第一凹面镜(1i)和第二凹面镜(1j)反射调整入射角度后，入射第二真空腔体(3c)中并作用于从熔融石英喷嘴(4d)喷出的液体束透明区。

2.根据权利要求1所述的基于飞秒真空紫外激光脉冲的液体束光电子影像装置，其特征在于，所述的成丝及四波混频发生气池(2b)与第一机械泵(2c)连接，第一真空腔体(2e)与第二机械泵(2d)连接，成丝及四波混频发生气池(2b)还与氪气瓶(2a)连接。

3.根据权利要求1所述的基于飞秒真空紫外激光脉冲的液体束光电子影像装置，其特征在于，所述的第二真空腔体(3c)内设置有孔板(3g)，第二真空腔体(3c)内位于孔板(3g)左侧的顶部侧壁设置有熔融石英喷嘴(4d)和第一冷阱(3d)，第二真空腔体(3c)左侧端部设置有第一分子泵(3b)，第一分子泵(3b)与第三机械泵(3a)连接，

第二真空腔体(3c)内位于熔融石英喷嘴(4d)下方从左至右依次设置有排斥极(5a)、加速极(5b)和地极(5c)，第二真空腔体(3c)位于熔融石英喷嘴(4d)下方的侧壁设置有第二冷阱(3h)，

第二真空腔体(3c)内位于孔板(3g)右侧设置有磁屏蔽筒(5d)，第二真空腔体(3c)位于孔板(3g)右侧的底部侧壁还设置有第二分子泵(3e)，第二分子泵(3e)与第四机械泵(3f)连接，

第二真空腔体(3c)的右端设置有二维位置敏感探测器(5e)，CCD相机(5f)和光电倍增管(5g)均与二维位置敏感探测器(5e)相对设置，CCD相机(5f)和光电倍增管(5g)均与计算机(5h)连接。

4.根据权利要求3所述的基于飞秒真空紫外激光脉冲的液体束光电子影像装置，其特征在于，所述的熔融石英喷嘴(4d)设置在三维可调平台(4c)上，熔融石英喷嘴(4d)通过高压输液泵(4b)与样品池(4a)连接。