[发明专利]一种基于平凸透镜的平顶光整形激光扫描装置及工作方法在审
| 申请号： | 202111466230.3 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN113960783A | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 邹达;熊波波;黎凯 | 申请（专利权）人： | 英诺激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G02B27/09 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 李燕娥 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 凸透镜 平顶 整形 激光 扫描 装置 工作 方法 | ||
1.一种基于平凸透镜的平顶光整形激光扫描装置，其特征在于，包括依序连接的激光器、光学组件、振镜以及平凸透镜，所述激光器，用于发出激光光束；所述光学组件，用于对所述激光光束进行整形调制处理；所述平凸透镜，用于将所述光学组件输出的调制后的激光光束进行聚焦，在焦面上得到平顶光斑；所述振镜，用于利用平顶光斑对加工面进行激光扫描。
2.根据权利要求1所述的一种基于平凸透镜的平顶光整形激光扫描装置，其特征在于，所述光学组件包括依序连接的扩束器以及DOE。
3.根据权利要求2所述的一种基于平凸透镜的平顶光整形激光扫描装置，其特征在于，所述平凸透镜位于所述振镜的下方。
4.根据权利要求1所述的一种基于平凸透镜的平顶光整形激光扫描装置，其特征在于，所述平凸透镜的焦面为球面。
5.根据权利要求3所述的一种基于平凸透镜的平顶光整形激光扫描装置，其特征在于，所述加工面处于以所述平凸透镜的焦面为基准的焦深范围内。
6.根据权利要求5所述的一种基于平凸透镜的平顶光整形激光扫描装置，其特征在于，还包括移动结构，所述移动结构位于所述平凸透镜的下方，所述移动结构上放置有加工样品，所述加工样品上设有所述加工面。
7.一种基于平凸透镜的平顶光整形激光扫描装置的工作方法，其特征在于，包括：
激光器发出激光光束；
光学组件对所述激光光束进行整形调制处理；
平凸透镜将所述光学组件输出的调制后的激光光束进行聚焦，在焦面上得到平顶光斑；
振镜利用所述平顶光斑对加工面进行扫描。
8.根据权利要求7所述的一种基于平凸透镜的平顶光整形激光扫描装置的工作方法，其特征在于，所述光学组件对所述激光光束进行整形调制处理，包括：
利用扩束器对所述激光器发出的激光光束进行扩束至DOE要求的入射光束大小；
利用DOE将所述扩束器输入的光束进行调制后，输入至振镜进行处理。
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