[发明专利]一种厚膜再电镀陶瓷基板及其制备方法在审
申请号: | 202111466541.X | 申请日: | 2021-12-03 |
公开(公告)号: | CN114190003A | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 刘松坡;刘学昌;张树强;黄卫军 | 申请(专利权)人: | 武汉利之达科技股份有限公司;湖北利之达电子科技有限公司 |
主分类号: | H05K3/12 | 分类号: | H05K3/12;H05K3/24;H05K1/02;H05K1/09;H05K3/00;H01L23/498;H01L21/48 |
代理公司: | 湖北高韬律师事务所 42240 | 代理人: | 鄢志波 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 厚膜再 电镀 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
1.一种厚膜再电镀陶瓷基板,包括陶瓷基片、厚膜导电层、电镀铜层和表面处理层,其特征在于,厚膜导电层采用丝网印刷金属浆料和烧结工艺制备,电镀铜层直接沉积在厚膜导电层上,所述电镀铜层和厚膜导电层被表面处理层包覆。
2.根据权利要求1所述的一种厚膜再电镀陶瓷基板,其特征在于,所述厚膜导电层厚度为10-30μm。
3.根据权利要求1所述的一种厚膜再电镀陶瓷基板,其特征在于,所述金属浆料为导电银浆、导电铜浆或导电镍浆,烧结温度为150-800℃。
4.根据权利要求1-3任一所述的一种厚膜再电镀陶瓷基板,其特征在于,所述电镀铜层厚度为30-300μm。
5.根据权利要求1-3任一所述的一种厚膜再电镀陶瓷基板,其特征在于,所述表面处理层为Ag、Ni-Au或Ni-Pd-Au,厚度为3-10μm。
6.一种权利要求1-5任一所述的一种厚膜再电镀陶瓷基板的制备方法,其特征在于,该方法包括下列步骤:
(a)通过丝网印刷技术在陶瓷基片表面涂覆金属浆料,烧结后形成厚膜导电层;
(b)在陶瓷基片非厚膜导电层区域丝网印刷导电胶,固化后形成电镀导电层;
(c)在陶瓷基片电镀导电层表面丝网印刷绝缘胶,固化后形成电镀掩模层;
(d)将步骤(c)得到的陶瓷基板放入电镀溶液中,通过电镀工艺在厚膜导电层表面沉积电镀铜层;
(e)将步骤(d)得到的陶瓷基板放入溶剂中,溶解去除掉电镀导电层和电镀掩模层;
(f)将步骤(e)得到的陶瓷基板放入化学镀液中,通过化学镀技术在电镀铜层和厚膜导电层上沉积表面处理层,得到厚膜再电镀陶瓷基板。
7.根据权利要求6所述的一种厚膜再电镀陶瓷基板的制备方法,其特征在于,所述导电胶为导电银胶、导电铜胶、导电聚合物或导电碳胶,印刷厚度为10-30μm,与厚膜导电层厚度相同,固化方式为热固化或光固化。
8.根据权利要求6-7任一所述的一种厚膜再电镀陶瓷基板的制备方法,其特征在于,所述绝缘胶为聚酰亚胺(PI)、液晶树脂(LCP)、苯并环丁烯(BCB)、ABF耐高温树脂,印刷厚度为30-300μm,与电镀铜层厚度相同,固化方式为热固化或光固化。
9.根据权利要求6-7任一所述的一种厚膜再电镀陶瓷基板的制备方法,其特征在于,所述溶剂为氢氧化钠溶液、无水乙醇、丙酮、乙醚、丁酯、乙酯、或氯乙烯中的一种及其组合。
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