[发明专利]一种铝合金无磷化抛光液、制备方法及其抛光工艺在审
| 申请号： | 202111466650.1 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN115821267A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 李德荣;吴育祥;何友余 | 申请（专利权）人： | 浙江瑞特良微电子材料有限公司;湖州铝通界面化学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F3/03 | 分类号： | C23F3/03 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 魏艳丽 |
| 地址： | 313100 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铝合金 磷化 抛光 制备 方法 及其 工艺 | ||
1.一种铝合金无磷化抛光液，其特征在于，按重量份计，包括20-40份硫酸、0.01-0.1份硫酸盐、1-5份有机酸盐、0.05-0.1份表面活性剂。
2.根据权利要求1所述铝合金无磷化抛光液，其特征在于，所述表面活性剂选自聚醚基羧酸盐、聚乙二醇、烷基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚中一种或多种。
3.根据权利要求2所述铝合金无磷化抛光液，其特征在于，所述聚醚基羧酸盐为直链烷基聚氧乙烯醚羧酸盐。
4.根据权利要求3所述铝合金无磷化抛光液，其特征在于，所述直链烷基聚氧乙烯醚羧酸盐的聚合度为7-12。
5.根据权利要求2-4任一项所述铝合金无磷化抛光液，其特征在于，所述烷基酚聚氧乙烯醚的浊点为60-65℃。
6.根据权利要求5所述铝合金无磷化抛光液，其特征在于，所述烷基酚聚氧乙烯醚和聚醚基羧酸盐的重量比为(0.1-1)：1。
7.根据权利要求6所述铝合金无磷化抛光液，其特征在于，所述有机酸盐选自有机酸铵盐、有机酸铜盐、有机酸钼盐、有机酸锂盐中一种或多种。
8.根据权利要求7所述铝合金无磷化抛光液，其特征在于，所述铝合金无磷化抛光液还包括0.1-0.3重量份缓蚀剂。
9.一种根据权利要求1-8任一项所述铝合金无磷化抛光液的制备方法，其特征在于，包括：将铝合金无磷化抛光液的各个成分混合，即得。
10.一种抛光工艺，其特征在于，包括：将抛光工件经过除油清洗后，置于权利要求1-8任一项所述铝合金无磷化抛光液中，在85-95℃抛光2-5min后，即得。
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