[发明专利]真空度检测电路、真空度检测方法及真空计

权利要求书

1.一种真空度检测电路，其特征在于，所述真空度检测电路包括：微处理器模块、信号驱动模块和信号检测模块，其中，

所述信号检测模块的输入端与所述信号驱动模块的输出端连接，所述信号检测模块的输出端与所述微处理器模块的输入端连接，所述微处理器模块的输出端与所述信号驱动模块的输入端连接；

所述信号驱动模块用于接收所述微处理器模块发出的第一载波，并将所述第一载波传输至所述信号检测模块；

所述信号检测模块用于检测真空度，并将所述真空度的检测结果发送至所述微处理器模块。

2.根据权利要求1所述的真空度检测电路，其特征在于，所述信号检测模块包括真空规电容，隔直电容、第一运放电路、第二运放电路和运算放大器，其中，

所述第一运放电路的负向输入端与所述真空规电容连接，所述第一运放电路的正向输入端和所述第二运放电路的正向输入端分别与所述隔直电容连接，所述第一运放电路的输出端和所述第二运放电路的输出端分别与所述运算放大器连接；

所述隔直电容用于将所述第一载波划分为两路相同的第二载波，并将所述第二载波分别输入至所述第一运放电路和所述第二运放电路；

所述第一运放电路和所述第二运放电路用于基于所述第二载波分别得到两路输出波形；

所述运算放大器用于将所述两路输出波形进行求差放大，得到关于所述真空规电容的电容信息，其中，所述真空规电容的电容信息与所述真空度的检测结果相对应。

3.根据权利要求2所述的真空度检测电路，其特征在于，所述信号检测模块还设置有对消电容，其中，所述对消电容与所述第二运放电路的负向输入端连接。

4.根据权利要求1所述的真空度检测电路，其特征在于，所述真空度检测电路还包括电源模块，其中，所述电源模块分别与所述信号驱动模块、所述信号检测模块和所述微处理器模块相连接，所述电源模块用于为所述信号驱动模块、所述信号检测模块和所述微处理器模块提供供电电压。

5.根据权利要求1所述的真空度检测电路，其特征在于，所述微处理器模块设置有温控模块，所述温控模块用于控制所述真空度检测电路的温度。

6.一种真空度检测方法，其特征在于，所述方法应用于权利要求1-5任意一项所述的真空度检测电路，包括：

基于信号检测模块进行采样，得到检测信号；

对所述检测信号进行处理，得到与检测信号对应的检测结果；

基于通信传输，将所述检测结果发送至客户端。

7.根据权利要求6所述的真空度检测方法，其特征在于，在基于通信传输，将所述检测结果发送至客户端之前，所述方法还包括：

将所述检测结果发送至微处理器模块，并基于所述微处理器模块对所述检测结果进行乘法解调处理，得到处理后检测结果；

所述基于通信传输，将所述检测结果发送至客户端，包括：

基于通信传输，将所述处理后检测结果发送至所述客户端。

8.根据权利要求6所述的真空度检测方法，其特征在于，所述信号检测模块包括真空规电容，所述对所述检测信号进行处理，得到与检测信号对应的检测结果，包括：

基于信号驱动模块，施加激励至所述真空规电容，得到与所述检测信号对应的检测电容量，其中，所述激励为所述信号驱动模块向所述信号检测模块发送的第一载波，所述第一载波用于驱动所述信号检测模块进行采样；

基于电容量与环境真空度的对应关系，确定与所述检测电容量对应的检测真空度，并将所述检测真空度作为所述检测结果。

9.一种真空计，其特征在于，所述真空计包括权利要求1至5中任意一项所述的真空度检测电路。