[发明专利]一种用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器

权利要求书

1.一种用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器，其特征在于，该探测器包括承载本体、光电倍增管、光导管、闪烁体、栅网和滤光片；

所述承载本体内依次设置有光电倍增管、光导管和闪烁体；

位于所述闪烁体前方的所述承载本体前端设置有所述栅网；

所述光电倍增管和所述光导管之间设置有至少一个滤光片。

2.根据权利要求1所述的用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器，其特征在于，所述闪烁体包括从下到上依次设置的四层结构，其中：

第一层结构采用透明无气泡的玻璃；

第二层结构采用荧光粉层；

第三层结构采用铝膜层；

第四层结构采用增镀铝膜层。

3.根据权利要求2所述的用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器，其特征在于，所述铝膜层厚度为70～80nm。

4.根据权利要求2所述的用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器，其特征在于，所述增镀铝膜层厚度为200～500nm。

5.根据权利要求4所述的用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器，其特征在于，所述增镀铝膜层采用电子束蒸发镀膜或热蒸发镀膜。

6.根据权利要求1所述的用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器，其特征在于，所述滤光片采用可见光波段短通滤光片。

7.根据权利要求1所述的用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器，其特征在于，所述滤光片的数量为1-3个，直径为25mm。

8.根据权利要求1～7任一项所述的用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器，其特征在于，还包括光束终止器，所述光束终止器设置在超快扫描电子显微镜样品室内的试样镜面反射光路上，收集镜面反射光，防止泵浦光束及其反射光的影响。

9.根据权利要求8所述的用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器，其特征在于，所述光束终止器采用大恒光电GCX-M0201。