[发明专利]一种激光划刻方法和一种太阳能电池

说明书

本申请提供一种激光划刻方法和太阳能电池，在衬底上具有第一电极层以及位于第一电极层上的光电转换层，第一电极层具有第一激光划刻槽，之后对光电转换层进行激光划刻，得到第二激光划刻槽，第二激光划刻槽用于之后形成子电极之间的电极接触，实现多个子电极之间的串联。第二激光划刻槽靠近第一激光划刻槽的第一侧壁与第二激光划刻槽的底部构成钝角，这样之后在光电转换层上形成第二电极层时，由于第二激光划刻槽的第一侧壁与第二激光划刻槽的底部构成钝角，使得第二电极层能够均匀覆盖第一侧壁和第二激光划刻槽的底部，不会出现第二电极层在第一侧壁和第二激光划刻槽的底部不连续的情况，不会出现多个子电池之间出现断路的问题。

技术领域

本发明涉及半导体领域，特别涉及一种激光划刻方法和一种太阳能电池。

背景技术

当前层叠结构的半导体器件发展迅速，例如层叠结构的太阳能电池可以应用在实际生活中。

为了提升在实际生活中太阳能电池的应用性能，针对大面积的太阳能电极，可以进行激光划刻，以实现将大面积的太阳能电池分为多个串联的子电池。

但是现有的激光划刻会导致形成的激光划刻槽不能满足需求，进而导致多个子电池之间出现断路。

发明内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种激光划刻方法和太阳能电池，能够解决激光划刻导致形成的激光划刻槽不能满足需求，导致多个子电池之间出现断路的问题。

本申请实施例提供了一种激光划刻方法，包括：

提供衬底，所述衬底上具有第一电极层以及位于第一电极层上的光电转换层，所述第一电极层具有第一激光划刻槽；

对所述光电转换层进行激光划刻，得到第二激光划刻槽；所述第二激光划刻槽靠近所述第一激光划刻槽的第一侧壁与所述第二激光划刻槽的底部构成钝角。

可选地，对所述光电转换层进行激光划刻，得到第二激光划刻槽包括：

在靠近所述第一激光划刻槽的区域对所述光电转换层进行激光划刻时，所述光电转换层与激光形成钝角，得到所述第二激光划刻槽。

可选地，所述激光的中心波长根据所述光电转换层的材料进行确定。

可选地，还包括：

在所述光电转换层上形成第二电极层，所述第二电极层至少覆盖所述第二激光划刻槽的第一侧壁和底部。

可选地，还包括：

对靠近所述第二激光划刻槽的区域所述第二电极层进行激光划刻，得到第三激光划刻槽，所述第三激光划刻槽的深度为所述光电转换层的厚度和所述第二电极层的厚度之和。

可选地，所述第一激光划刻槽的深度为所述第一电极层的厚度，所述第二激光划刻槽的深度为所述光电转换层的厚度。

可选地，所述光电转换层为有机光电转换层、铜铟镓硒光电转成层、碲化镉光电转换层或钙钛矿光电转换层。

可选地，所述第一侧壁与所述第二激光划刻槽的底部构成钝角的角度小于150°。

本申请实施例还提供一种太阳能电池，包括：

衬底，所述衬底上具有第一电极层以及位于第一电极层上的光电转换层，所述第一电极层具有第一激光划刻槽；

所述光电转换层具有第二激光划刻槽；所述第二激光划刻槽靠近所述第一激光划刻槽的第一侧壁与所述第二激光划刻槽的底部构成钝角。

可选地，还包括：

所述光电转换层上形成有第二电极层，所述第二电极层至少覆盖所述第二激光划刻槽的第一侧壁和底部；

所述第二电极层具有第三激光划刻槽，所述第三激光划刻槽靠近所述第二激光划刻槽，远离所述第一激光划刻槽。