[发明专利]一种蚀刻液及其制备方法、金属膜材处理方法在审
| 申请号： | 202111481164.7 | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN114507859A | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 王维;潘春林;李自杰;林秋玉 | 申请（专利权）人： | 福建中安高新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20;C23F1/26;C23F11/10;C23F11/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 李珊珊 |
| 地址： | 350003 福建省福州市鼓楼区软*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 及其 制备 方法 金属膜 处理 | ||
1.一种蚀刻液，用于金属膜材，其特征在于，所述蚀刻液含有以下重量份数的各组分：50-80份的磷酸，1-10份的硝酸，10-30份的醋酸，0.01-1份的金属缓蚀剂，0.01-1份的表面活性剂，余量为水；所述表面活性剂包括壬基酚聚氧乙烯醚和脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸盐；所述金属缓蚀剂包括醋酸钾、磺化木质素、膦羧酸、琉基苯并噻唑中的至少一种。
2.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻液含有以下重量份数的各组分：0.005-0.75份的所述壬基酚聚氧乙烯醚；0.005-0.25份的所述脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸盐。
3.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于，所述表面活性剂与所述金属缓蚀剂的质量比为1：(0.5-2)。
4.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于，所述金属缓蚀剂还包括膦酸盐。
5.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻液中含有以下重量份数的各组分：72-78份的所述磷酸，2.5-4.5份的所述硝酸，16-19份的所述醋酸，余量为水。
6.根据权利要求1-5任一项所述的蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻液的pH值为1.5-2.5。
7.一种用于金属膜材的蚀刻液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
将磷酸、硝酸、醋酸、表面活性剂、金属缓蚀剂及水按比例混合，得到蚀刻液；所述蚀刻液含有以下重量份数的各组分：50-80份的磷酸，1-10份的硝酸，10-30份的醋酸，0.01-1份的金属缓蚀剂，0.01-1份的表面活性剂，余量为水；其中，所述表面活性剂包括壬基酚聚氧乙烯醚和脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸盐；所述金属缓蚀剂包括醋酸钾、磺化木质素、膦羧酸、琉基苯并噻唑中的至少一种。
8.一种金属膜材的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
将根据权利要求1-6任一项所述的蚀刻液或者根据权利要求7所述的制备方法制备的蚀刻液与金属膜材接触，以将所述金属膜材蚀刻；其中，所述金属膜材包括铝膜、铝合金膜、钼膜、钼合金膜、钼-铝叠层膜、铝-钼-铝叠层膜和钼-铝-钼叠层膜。
9.根据权利要求8所述的处理方法，其特征在于，所述蚀刻的时间为90s-110s。
10.根据权利要求8所述的处理方法，其特征在于，所述蚀刻的温度为40℃-70℃。
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