[发明专利]一种InP衬底清洗方法

权利要求书

1.一种InP衬底清洗方法，其特征在于，包括：

将InP衬底置于碱性溶剂中浸泡0.5-10分钟；

用去离子水冲洗；

烘干。

2.根据权利要求1所述的InP衬底清洗方法，其特征在于，在烘干前，将InP衬底用有机溶剂清洗，而后，再用去离子水冲洗。

3.根据权利要求2所述的InP衬底清洗方法，其特征在于，所述有机溶剂为丙酮或酒精；用丙酮浸泡4-6分钟；或者，用酒精浸泡2-4分钟。

4.根据权利要求1所述的InP衬底清洗方法，其特征在于，在InP衬底置于碱性溶剂中浸泡时进行晃动或采用超声振动的方式进行清洗。

5.根据权利要求1所述的InP衬底清洗方法，其特征在于，所述碱性溶剂为显影液、去胶液或氨水与水的混合液、脂肪酸钠水溶液，其中，氨水与水的体积比为1：1-50；脂肪酸钠与水的体积比为1：50-100。

6.根据权利要求5所述的InP衬底清洗方法，其特征在于，所述氨水与水的体积比为1：1；或，所述氨水与水的体积比为1：5；或，所述氨水与水的体积比为1：10；或，所述氨水与水的体积比为1：50。

7.根据权利要求5所述的InP衬底清洗方法，其特征在于，所述脂肪酸钠与水的体积比为1：50；或，所述脂肪酸钠与水的体积比为1：100。