[发明专利]投影物镜系统有效
| 申请号： | 202111483415.5 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114019661B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 夏智锋;张志清;古志良;许毅钦;邢景超;李鸿;陈博谦;陈志涛;赵维 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463 | 代理人： | 戴尧罡 |
| 地址： | 510651 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 投影 物镜 系统 | ||
1.一种投影物镜系统，其特征在于，包括：
具有负光焦度的第一透镜群组；
设置在所述第一透镜群组一侧的光阑；
设置在所述光阑远离所述第一透镜群组一侧，并具有正光焦度的第二透镜群组；
设置在所述第二透镜群组远离所述光阑一侧的分光器；
以及，设置在所述分光器远离所述第二透镜群组一侧的保护玻璃；
其中，所述第一透镜群组、所述光阑、所述第二透镜群组以及所述分光器沿同一光路设置，并构成物镜系统本体，所述第一透镜群组的焦距f1与所述物镜系统本体的焦距f之比在-22到-23之间，且所述第二透镜群组的焦距f2与所述物镜系统本体的焦距f之比在2到3之间；
所述第一透镜群组包括沿同一光路设置的第一单透镜、第一双胶合透镜、第二双胶合透镜以及第二单透镜，其中所述第一单透镜具有负光焦度，所述第一双胶合透镜具有正光焦度，所述第二双胶合透镜具有负光焦度，所述第二单透镜具有正光焦度；
所述第二透镜群组包括沿同一光路设置的第三双胶合透镜、第三单透镜以及第四单透镜，其中所述第三双胶合透镜具有负光焦度，所述第三单透镜具有正光焦度，所述第四单透镜具有正光焦度，所述投影物镜系统中具有光学屈折力的部件仅为上述透镜。
2.根据权利要求1所述的投影物镜系统，其特征在于，所述第一单透镜的焦距fa与所述物镜系统本体的焦距f之比在-2到-3之间。
3.根据权利要求1所述的投影物镜系统，其特征在于，所述第一双胶合透镜的焦距fb与所述物镜系统本体的焦距f之比在4到5之间。
4.根据权利要求1所述的投影物镜系统，其特征在于，所述第二双胶合透镜的焦距fc与所述物镜系统本体的焦距f之比在-57到-58之间。
5.根据权利要求1所述的投影物镜系统，其特征在于，所述第二单透镜的焦距fd与所述物镜系统本体的焦距f之比在21到22之间。
6.根据权利要求5所述的投影物镜系统，其特征在于，所述第三双胶合透镜的焦距fe与所述物镜系统本体的焦距f之比在-20到-21之间。
7.根据权利要求5所述的投影物镜系统，其特征在于，所述第三单透镜的焦距fg与所述物镜系统本体的焦距f之比在5到6之间。
8.根据权利要求7所述的投影物镜系统，其特征在于，所述第四单透镜的焦距fh与所述物镜系统本体的焦距f之比在2到3之间。
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