[发明专利]一种器件结构及其制备方法在审
申请号: | 202111483696.4 | 申请日: | 2021-12-07 |
公开(公告)号: | CN113921630A | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 肖平;李新连;许世森;王力军;赵志国;张赟;夏渊;秦校军;刘家梁;黄斌;赵东明 | 申请(专利权)人: | 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能新能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/046 | 分类号: | H01L31/046;H01L31/0463;H01L31/0465;H01L31/0224;H01L31/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 柳虹 |
地址: | 102209 北京市昌平区北七家镇*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 器件 结构 及其 制备 方法 | ||
1.一种器件结构,其特征在于,包括:
衬底;
位于所述衬底上的太阳能电池层;所述太阳能电池层具有刻划区;位于所述刻划区的刻划沟槽;
位于所述太阳能电池层远离所述衬底的一侧的绝缘层;所述绝缘层位于所述刻划区;
位于所述绝缘层远离所述衬底的一侧的金属栅线;
位于所述太阳能电池层远离所述衬底的一侧的点状栅线;所述点状栅线位于非刻划区;
所述点状栅线与所述金属栅线连接。
2.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,所述太阳能电池层包括下电极材料层、光电转换功能层和上电极材料层;所述光电转换功能层用于产生和传输光生载流子;
所述光电转换功能层位于所述下电极材料层和所述上电极材料层之间;
所述下电极材料层位于所述光电转换功能层靠近所述衬底的一侧;
所述上电极材料层位于所述光电转换功能层远离所述衬底的一侧。
3.根据权利要求2所述的结构,其特征在于,所述上电极材料层包括透明导电层;所述点状栅线与所述透明导电层连接。
4.根据权利要求2所述的结构,其特征在于,所述光电转换功能层包括:
依次层叠的电子传输层、光吸收层和空穴传输层;
所述光吸收层用于产生光生载流子;所述光生载流子中的电子通过所述电子传输层传输到一侧电极,所述光生载流子中的空穴通过所述空穴传输层传输至另一侧电极。
5.根据权利要求1所述结构,其特征在于,所述金属栅线和所述点状栅线的材料为以下材料的一种或多种:金、银、铜、铝、镍。
6.一种器件结构的制造方法,其特征在于,包括:
提供衬底;
形成位于所述衬底上的太阳能电池层;所述太阳能电池层具有刻划区;
刻划形成位于所述刻划区的刻划沟槽;
形成位于所述太阳能电池层远离所述衬底的一侧的绝缘层;所述绝缘层位于所述刻划区;
形成位于所述绝缘层远离所述衬底的一侧的金属栅线;
形成位于所述太阳能电池层远离所述衬底的一侧的点状栅线;所述点状栅线位于非刻划区;所述点状栅线与所述金属栅线连接。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述形成位于所述衬底上的太阳能电池层,包括:
在所述衬底上形成下电极材料层;
在所述下电极材料层远离所述衬底的一侧形成光电转换功能层;所述光电转换功能层用于产生和传输光生载流子;
在所述光电转换功能层远离所述衬底的一侧形成上电极材料层。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述在所述光电转换功能层远离所述衬底的一侧形成上电极材料层,包括:
在所述光电转换功能层远离所述衬底的一侧形成透明导电层;
所述点状栅线与所述透明导电层连接。
9.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述在所述下电极材料层远离所述衬底的一侧形成光电转换功能层,包括:
形成依次层叠的电子传输层、光吸收层和空穴传输层;
所述光吸收层用于产生光生载流子;所述光生载流子中的电子通过所述电子传输层传输到一侧电极,所述光生载流子中的空穴通过所述空穴传输层传输至另一侧电极。
10.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述金属栅线和所述点状栅线的材料为以下材料的一种或多种:金、银、铜、铝、镍。
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的