[发明专利]一种解决Wedge清洗过程中破损的方法

说明书

本发明公开了一种解决Wedge清洗过程中破损的方法，包括以下步骤，步骤一：将Wedge顶部朝上插入治具固定，并完成整个刀盘上Wedge的装夹；步骤二：通过刀盘转动，使装夹后的治具依次进入清洗台内的氢氧化钠溶液池进行清洗，清洗两次；步骤三：氢氧化钠溶液池的超声清洗频率为80HZ，清洗时间15分钟；步骤四：刀盘上Wedge全部清洗完毕后，通过传送腔带动清洗架移动，使刀盘移动到水清洗池内进行一次水洗，水洗结束后，得到成品，采用抗强碱的特氟龙材质制作治具，并在治具上呈环形阵列开设有多组供不同尺寸的Wedge安装的槽口，使该治具应用范围广。

技术领域

本发明涉及超声及防强碱技术领域，具体涉及一种解决Wedge清洗过程中破损的方法。

背景技术

Wedge是芯片生产过程中常见的一种工具，在Wedge的生产过程中，通过需要对Wedge进行清洗，现有的Wedge的清洗是将Wedge悬挂然后直接放入氢氧化钠溶液烧杯中进行清洗，在清洗过程中Wedge容易发生晃动导致碰撞，致使Wedge的尖头一端出现损坏，降低了Wedge的成品率；

因此，需要设计一种解决Wedge清洗过程中破损的方法，提高Wedge在生产过程中的良品率，延迟Wedge使用寿命，并改变传统的悬挂清洗，采用连续式转动清洗，提高清洗效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种解决Wedge清洗过程中破损的方法，采用抗强碱的特氟龙材质制作治具，并在治具上呈环形阵列开设有多组供不同尺寸的Wedge安装的槽口，使该治具应用范围广，能够针对不同型号的Wedge进行清洗安装，并将Wedge安装的槽口呈环形阵列设置，使相邻的Wedge始终保持相对独立，能够有效避免Wedge在清洗过程中发生碰撞，有效避免Wedge发生破损。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种解决Wedge清洗过程中破损的方法，其特征在于，包括以下步骤:

步骤一：将Wedge顶部朝上插入治具固定，并完成整个刀盘上Wedge的装夹；

步骤二：通过刀盘转动，使装夹后的治具依次进入清洗台内的氢氧化钠溶液池进行清洗；

步骤三：氢氧化钠溶液池的超声清洗频率为HZ，清洗时间分钟；

步骤四：刀盘上Wedge全部清洗完毕后，通过传送腔的传送作用使刀盘移动到水清洗池内进行一次水洗，水洗结束后，得到成品。

作为本发明进一步的方案：步骤二中所述氢氧化钠溶液池中氢氧化钠与去离子水的重量比为1:9。

作为本发明进一步的方案：所述治具由特氟龙材质制成。

作为本发明进一步的方案：所述治具上呈环形阵列开设有若干组供不同尺寸的Wedge安装的槽口。

作为本发明进一步的方案：步骤一中多个治具在刀盘上呈环形阵列设置。

作为本发明进一步的方案：步骤二中所述治具在氢氧化钠溶液池内清洗两次。

作为本发明进一步的方案：所述水清洗池与氢氧化钠溶液池之间设置有缓冲池，所述缓冲池用于沥干Wedge清洗后的溶液。

本发明的有益效果：

(1)本发明采用抗强碱的特氟龙材质制作治具，并在治具上呈环形阵列开设有多组供不同尺寸的Wedge安装的槽口，使该治具应用范围广，能够针对不同型号的Wedge进行清洗安装；

(2)本发明将Wedge安装的槽口呈环形阵列设置，使相邻的Wedge始终保持相对独立，能够有效避免Wedge在清洗过程中发生碰撞，避免Wedge发生破损，稳定性强；