[发明专利]一种用于射频阴极的集成化气体分配及离子收集组件在审
| 申请号： | 202111487286.7 | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN114352493A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 李兴达;吴辰宸;耿海;张兴民;孙新锋;贾连军;杨俊泰;吴先明;蒲彦旭;王尚民;刘超;李沛;张文涛;成荣 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | F03H1/00 | 分类号： | F03H1/00;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙) 11938 | 代理人： | 饶小平 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 射频 阴极 集成化 气体 分配 离子 收集 组件 | ||
1.一种用于射频阴极的集成化气体分配及离子收集组件，其特征在于，包括气路接头、绝缘陶瓷、气体分配器以及离子收集电极，其中：
所述气体分配器通过紧固螺母固定在放电室的陶瓷后盖处；
所述气体分配器的一端与所述绝缘陶瓷焊接密封，另一端与所述离子收集电极一体成型，将所述离子收集电极固定在放电室的内部；
所述气路接头与所述绝缘陶瓷焊接密封。
2.如权利要求1所述的用于射频阴极的集成化气体分配及离子收集组件，其特征在于，所述离子收集电极为圆盘形，内部均匀设置有进气孔，进气孔与放电室的内壁夹角为50°-80°。
3.如权利要求2所述的用于射频阴极的集成化气体分配及离子收集组件，其特征在于，所述放电室的前盖处设置有引出孔。
4.如权利要求2所述的用于射频阴极的集成化气体分配及离子收集组件，其特征在于，所述气体分配器与稳压电源连接。
5.如权利要求3所述的用于射频阴极的集成化气体分配及离子收集组件，其特征在于，环绕放电室设置有射频线圈。
6.如权利要求5所述的用于射频阴极的集成化气体分配及离子收集组件，其特征在于，所述射频线圈通过匹配网络与所述射频电源连接。
7.如权利要求1所述的用于射频阴极的集成化气体分配及离子收集组件，其特征在于，所述气体分配器和所述离子收集电极的材料均为耐溅射的导电材料。
8.如权利要求1所述的用于射频阴极的集成化气体分配及离子收集组件，其特征在于，还包括点火电极，所述点火电极与陶瓷后盖焊接密封，并与高压脉冲电源连接。
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