[发明专利]一种具有纳米多孔结构的周期性多层超薄隔热薄膜及其制备和应用

权利要求书

1.一种具有纳米多孔结构的周期性多层超薄隔热薄膜，其特征在于，包括基底，沉积在基底上的粘结层，以及在基底上周期性依次复合的隔热层和反射层。

2.根据权利要求1所述的一种具有纳米多孔结构的周期性多层超薄隔热薄膜，其特征在于，所述的基底为聚合物薄膜、玻璃、硅片、金属及其氧化物片中的一种。

3.根据权利要求1所述的一种具有纳米多孔结构的周期性多层超薄隔热薄膜，其特征在于，所述的粘结层为Cr层，其厚度为1～1000nm。

4.根据权利要求1所述的一种具有纳米多孔结构的周期性多层超薄隔热薄膜，其特征在于，所述的隔热层为SiC、Si₃N₄、SiO₂、TiO₂、Al₂O₃中的一种或多种，其厚度为1～1000nm。

5.根据权利要求4所述的一种具有纳米多孔结构的周期性多层超薄隔热薄膜，其特征在于，当隔热层为多组分时，不同组分之间按顺序复合。

6.根据权利要求1所述的一种具有纳米多孔结构的周期性多层超薄隔热薄膜，其特征在于，所述的反射层为W、Ag、Al中的一种，且隔热层与反射层的厚度比为1000：(1～1000)。

7.根据权利要求1所述的一种具有纳米多孔结构的周期性多层超薄隔热薄膜，其特征在于，隔热层和反射层周期性复合的周期数为1～100000。

8.如权利要求1-7任一所述的一种具有纳米多孔结构的周期性多层超薄隔热薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)取基底置于磁控溅射台上，先在基底上沉积粘结剂层，然后再周期性依次沉积隔热层和反射层，得到薄膜粗品；

(2)对薄膜粗品进行退火处理，即得到目标产物。

9.根据权利要求8所述的一种具有纳米多孔结构的周期性多层超薄隔热薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，磁控溅射沉积过程中，基底与靶材之间距离为50～1000mm，工作气体为氩气纯度为98％～99.9％，真空度为0.1～10*10^-3pa，溅射工作气压0.1～10pa，基底转速为2～40r/min，磁控溅射功率为20～250W，基底温度为20～100℃；

步骤(2)中，退火温度为200～1000℃，退火时间为1～24h。

10.如权利要求1所述的一种具有纳米多孔结构的周期性多层超薄隔热薄膜的应用，其特征在于，该超薄隔热薄膜用于航空航海设备外壳和民用保温隔热领域。