[发明专利]柔性显示面板有效
申请号: | 202111491391.8 | 申请日: | 2021-12-08 |
公开(公告)号: | CN114220830B | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 曹蔚然;林高波;徐源竣 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H10K59/121 | 分类号: | H10K59/121;H10K59/122;H10K59/123;H10K59/131 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 黄舒悦 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 面板 | ||
1.一种柔性显示面板,其特征在于,包括:
柔性衬底;
薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括有源层,设置于所述柔性衬底上,所述有源层中开设有开孔,所述开孔贯穿所述有源层的至少一部分,其中,
所述有源层包括沟道区、源极连接部以及漏极连接部,所述源极连接部与所述漏极连接部位于沟道区的相对两侧;
所述薄膜晶体管还包括源极和漏极,所述源极和所述漏极设置于所述有源层远离所述柔性衬底的一侧,所述源极与所述源极连接部连接,所述漏极与所述漏极连接部连接,所述开孔包括多个,多个所述开孔间隔设于所述源极连接部中,和/或,多个所述开孔间隔设于所述漏极连接部中。
2.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述源极和所述漏极的至少一个延伸入所述开孔中与所述有源层连接。
3.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述开孔位于所述源极连接部和所述漏极连接部中,所述源极连接部中的所述开孔与所述漏极连接部中的所述开孔相对于所述沟道区对称设置。
4.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述薄膜晶体管还包括欧姆接触层,所述欧姆接触层包括第一欧姆接触部和第二欧姆接触部,所述第一欧姆接触部位于所述源极连接部与所述源极之间,所述第二欧姆接触部位于所述漏极连接部与所述漏极之间,所述第一欧姆接触部和所述第二欧姆接触部的至少一个延伸入所述开孔中与所述有源层连接。
5.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述薄膜晶体管还包括栅极和栅极绝缘层,所述栅极位于所述有源层与所述源极和所述漏极之间,所述栅极绝缘层位于所述栅极与所述有源层之间,所述开孔的面积为0.1平方微米至20平方微米。
6.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述有源层包括沟道区,所述开孔位于所述沟道区中。
7.如权利要求6所述的柔性显示面板,其特征在于,所述沟道区中的开孔对称设置。
8.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述有源层包括沟道区、源极连接部以及漏极连接部,所述源极连接部与所述漏极连接部位于沟道区的相对两侧,所述开孔位于所述沟道区、源极连接部以及漏极连接部中,所述沟道区中的开孔对称设置,所述源极连接部中的所述开孔与所述漏极连接部中的所述开孔相对于所述沟道区对称设置,所述源极和所述漏极延伸入所述开孔中与所述有源层连接,所述薄膜晶体管还包括栅极绝缘层,所述栅极绝缘层覆盖所述沟道区,所述栅极绝缘层填充所述开孔。
9.如权利要求8所述的柔性显示面板,其特征在于,所述柔性显示面板还包括第一电极、像素定义层、发光层和第二电极,第一电极设置于所述薄膜晶体管上,所述像素定义层设置于所述第一电极远离所述薄膜晶体管的一侧,所述像素定义层中开设有开口,所述发光层设置于所述开口中,所述第二电极覆盖于所述像素定义层和所述发光层上。
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