[发明专利]一种吸附检测装置及吸附检测方法

权利要求书

1.一种吸附检测方法，其特征在于，包括：

提供吸附检测装置；

所述吸附检测装置包括：

承载体，所述承载体包括中心区和包围所述中心区的边缘区，所述边缘区中具有容置腔，所述容置腔具有第一侧壁、围绕所述第一侧壁的第二侧壁以及腔顶壁，所述第一侧壁包括连接的第一顶侧壁和第一底侧壁，所述第二侧壁包括连接的第二顶侧壁和第二底侧壁，所述边缘区包括位于所述容置腔和所述中心区之间的第一子边缘区；

柔性膜单元，所述柔性膜单元包括第一柔性膜、第二柔性膜、第三柔性膜和柔性连接体，所述第一柔性膜和所述柔性连接体位于所述容置腔中，所述第一柔性膜、所述腔顶壁、所述第一顶侧壁和所述第二顶侧壁围成第一调压腔，所述柔性连接体位于所述第一柔性膜的底部且与部分所述第一柔性膜连接，所述第二柔性膜位于所述中心区和所述第一子边缘区的底部且与所述柔性连接体背向所述第一柔性膜的一侧连接，所述柔性连接体、所述第二柔性膜、所述第一柔性膜、所述第一底侧壁、所述中心区的底面和所述第一子边缘区的底面之间围成第二调压腔，所述第三柔性膜位于所述第二柔性膜和柔性连接体的底部，所述第三柔性膜、所述第二底侧壁、所述柔性连接体和所述第二柔性膜围成第三调压腔；

控制模块，所述控制模块适于控制所述第一调压腔、所述第二调压腔和所述第三调压腔的压强；

对所述第三调压腔充气，使得所述第三柔性膜按压在晶圆上；

对所述第三调压腔充气之后，对所述第一调压腔抽气使得所述第一调压腔收缩，以带动所述柔性膜单元向上移动直至所述第二柔性膜与所述承载体的中心区和第一子边缘区贴合；

对所述第一调压腔抽气之后，对所述第三调压腔抽气；

对所述第三调压腔抽气的过程中，至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况。

2.如权利要求1所述的吸附检测方法，其特征在于，所述第一柔性膜的弹性模量大于所述柔性连接体的弹性模量，所述第二柔性膜的弹性模量大于所述柔性连接体的弹性模量，所述柔性连接体的弹性模量大于所述第三柔性膜的弹性模量。

3.如权利要求1所述的吸附检测方法，其特征在于，对所述第三调压腔抽气的过程中，所述柔性连接体朝向所述第二底侧部形变；

至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况包括：当柔性连接体和第一底侧壁之间的所述第二调压腔的压强从大气压变为小于大气压且保持在小于大气压状态，则判断对晶圆吸附成功。

4.如权利要求1所述的吸附检测方法，其特征在于，至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况还包括：当柔性连接体和第一底侧壁之间的第二调压腔的压强始终等于大气压，则判断对晶圆吸附失败。

5.如权利要求1所述的吸附检测方法，其特征在于，对所述第三调压腔抽气的过程中，所述柔性连接体朝向所述第二底侧部形变之后，所述柔性连接体朝向所述第二底侧部的形变恢复；

至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况还包括：当柔性连接体和第一底侧壁之间的第二调压腔的压强由大气压变小后，又恢复至大气压，则判断对晶圆吸附失败。

6.如权利要求1所述的吸附检测方法，其特征在于，所述控制模块还包括：第二压力检测单元，所述第二压力检测单元适于检测所述第二调压腔中的压强；第一调压单元和第三调压单元；控制单元；

对所述第三调压腔充气的步骤为：所述控制单元控制所述第三调压单元对所述第三调压腔充气；

对所述第一调压腔抽气使得所述第一调压腔收缩的步骤为：所述控制单元控制所述第一调压单元对所述第一调压腔抽气；

至少根据所述第二调压腔中的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况的步骤为：所述控制单元至少根据所述第二压力检测单元检测到的压强判断所述第三柔性膜对晶圆的吸附情况。