[发明专利]一种快速降温的压力固化炉

说明书

本发明提供一种快速降温的压力固化炉，包括炉本体、载物台、冷却装置和升降机构。所述炉本体具有空腔；所述载物台设置在所述空腔内；所述冷却装置设置在所述空腔内；所述升降机构部分位于所述空腔内，且所述升降机构和所述冷却装置相连接，所述升降机构能带动所述冷却装置升降运动，以接触或脱离所述载物台。本申请的快速降温的压力固化炉，在承载物不发生位移，保证焊接质量的前提下，可以实现载物台的快速冷却和快速升温，提升焊接效率。

技术领域

本发明涉及半导体行业用于芯片焊接、烘烤和固化的密封设备技术领域，尤其涉及一种快速降温的压力固化炉。

背景技术

压力固化炉分为正压固化炉、负压固化炉以及组合形式的压力固化炉。目前市面上可见的压力固化炉多以固定载物台，固定冷却管路，固定加热装置等形式。为保证冷却效率，多将冷却管路于载物台接触，通过提升接触面达到快速冷却的目的。也有的设备冷却管路和载物台没有接触，通过内部气体循环进行冷却。或直接通过气体冷却。还有一种冷却管路固定，载物台运动，和冷却管路进行贴合与分离。加热过程中，载物台和管路分离，冷却时载物台与冷却管路贴合，实现快速降温的目的。

但是，没有冷却管路，直接通过气体冷却，冷却效率低，多以惰性气体为冷却介质，为达到冷却效果，不停地向内充惰性气体，却成本较高。非接触式管路与气体组合方式，虽然相对于气体冷却方式，冷却效率有所提高，但是冷却效率还是比较慢，而且也消耗较多的惰性气体。载物台与冷却管路贴合，可以快速冷却，但存在一个问题，即在加热过程中，因载物台和冷却管路贴合，加热速度较慢，而且度均匀性较低。载物台运动与冷却管路贴合实现降温的压力固化炉，载物台运动过程中，容易造成上面的承载物位移，造成焊接不良。

有鉴于此，特提出本发明。

发明内容

本申请的目的在于提供一种快速降温的压力固化炉，在承载物不发生位移，保证焊接质量的前提下，可以实现载物台的快速冷却和快速升温，提升焊接效率。

为了实现上述发明目的，本申请提供了以下技术方案：一种快速降温的压力固化炉，包括：

炉本体，所述炉本体具有空腔；

载物台，所述载物台设置在所述空腔内；

冷却装置，所述冷却装置设置在所述空腔内；

升降机构，所述升降机构部分位于所述空腔内，且所述升降机构和所述冷却装置相连接，所述升降机构能带动所述冷却装置升降运动，以接触或脱离所述载物台。

可选的，所述升降机构包括驱动部件和传动轴，所述传动轴上设置外螺纹，所述冷却装置上设置螺纹套，所述驱动部件设置在所述炉本体外部，所述传动轴贯穿所述炉本体设置，且所述传动轴和所述炉本体之间设置转动密封装置，所述传动轴一端和所述螺纹套螺纹连接，另一端和所述驱动部件传动连接。

可选的，还包括冷却介质管，所述冷却装置具有冷却介质通道，所述炉本体上设置连通所述空腔的连通口，所述冷却介质管贯穿所述连通口，所述冷却介质管和所述冷却装置相连接，所述冷却介质管和所述冷却介质通道相连通。

可选的，还包括弹性密封装置，所述弹性密封装置套设在所述冷却介质管外部，且所述弹性密封装置的两端分别与所述载物台和炉本体相连接，所述弹性密封装置内部空间和所述空腔相隔离。

可选的，所述冷却装置上平行设置有多个冷却介质通道，相邻两冷却介质通道中，一所述冷却介质通道的入口和另一所述冷却介质通道的出口位于所述冷却装置的同一侧。

可选的，还包括吹除装置，所述吹除装置和所述冷却装置相连通，且所述吹除装置和所述冷却介质通道相连通。

可选的，包括加热装置，所述加热装置包括多个加热管，所述冷却装置包括底台部和连接在底台部上的多个凸台部，相邻两个凸台部之间形成容纳腔，各所述加热管分别设置在相应的容纳腔内。