[发明专利]一种磨片在线回收的浆液利用方法有效

专利信息
申请号: 202111501895.3 申请日: 2021-12-09
公开(公告)号: CN114193329B 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 姚科新;费港凯;吴延;向东;孙晨光;王彦君;曹锦伟 申请(专利权)人: 中环领先半导体材料有限公司
主分类号: B24B57/02 分类号: B24B57/02;B24B57/00;B24B37/005;B24B37/34;B03C1/30
代理公司: 北京鑫知翼知识产权代理事务所(普通合伙) 11984 代理人: 孙长江
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 在线 回收 浆液 利用 方法
【权利要求书】:

1.一种磨片在线回收的浆液利用方法,其特征在于:浆液利用方法包括以下步骤:

S1、首先启动隔膜泵从废砂浆缓冲罐内抽取一定量的废砂浆至总回收罐(RCV),总回收罐(RCV)中废砂浆通过除铁锈装置(MGS)去除铁粉,将处理完的废液向分级调和桶(SEP)送液,分级调和桶(SEP)显示从总回收罐(RCV)收入废液的比重,通过离心机分级处理,将处理过的废液输送给再生调和桶(RMX),再生调和桶(RMX)调整从分级调和桶(SEP)中精制分级后的回收砂浆液的比重,输送至过滤器,过滤器启动,过滤分级调和桶(SEP)输出的回收砂浆,过滤完成,清洗滤布后开始分级,分级后比重低于目标值,返回到分级调和桶(SEP)中或比重调整不理想时返回到分级调和桶(SEP),如无异常,导入旧液存储罐,旧液存储罐的回收砂导入回收砂密度配比储存桶(RS-1),按设定比例助磨剂比砂浆添加助磨剂,维持比重至相应的范围要求,完成混合后能够向新旧砂混合成品桶(RS-2)送液;

S2、然后将袋装研磨砂(F0)加入存砂罐中,通过气泵将研磨砂导入新液调和桶内部,新液调和桶按照一定的比例调和,过程中进行补正达到设定密度,新液调和桶将调和好的新液导入新液存储桶(NS),新液存储桶(NS)根据新旧砂混合成品桶(RS-2)的液位信号进行新液传输;

S3、最后将新液存储桶(NS)新液和回收砂密度配比储存桶(RS-1)回收液按照一定体积比例混合,达到设定的密度要求,通过气泵供给机台端,并通过循环泵在管道内循环,机台端设置打液装置,打液装置以按键形式控制,打液装置连接到新旧砂混合成品桶(RS-2)分流管路,打液端的砂浆桶增加液位控制线达到相应的液位,打液自动暂停,新旧砂混合成品桶(RS-2)不再继续供液。

2.根据权利要求1所述的一种磨片在线回收的浆液利用方法,其特征在于:所述再生调和桶(RMX)调整从分级调和桶(SEP)中精制分级后的回收砂浆液的比重范围要求为1.23-1.25g/cc。

3.根据权利要求1所述的一种磨片在线回收的浆液利用方法,其特征在于:所述新液调和桶的比例为水:研磨砂:添加剂=30L:10KG:0.9L ,且过程中进行补正达到设定密度为1.23-1.25g/cc。

4.根据权利要求1所述的一种磨片在线回收的浆液利用方法,其特征在于:所述新液存储桶(NS)新液和回收砂密度配比储存桶(RS-1)回收液体积混合比例为1:1.3,且设定的密度要求为1.23-1.25g/cc。

5.根据权利要求1所述的一种磨片在线回收的浆液利用方法,其特征在于:所述除铁锈装置(MGS)去除铁粉的工作原理为通过电磁铁进行吸附,且打液端的砂浆桶增加液位控制线为300L。

6.根据权利要求1所述的一种磨片在线回收的浆液利用方法,其特征在于:所述设定比例助磨剂比砂浆等于0.03:1,且维持比重至1.25-1.27g/cc的范围要求。

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