[发明专利]铜表面粗化微蚀液及其使用方法

权利要求书

1.一种铜表面粗化微蚀液，其特征在于：包括二价铜离子源4-100g/L、有机胺30-450g/L、酸根供体5-75g/L、卤离子源0.005-100g/L和水溶性聚合物0.05-100ppm；

其中所述有机胺为含有胺基的多乙烯多胺、烷基醇胺和羟基含氮杂环化合物中的至少一种，其中所述酸根供体为单脂肪羧酸和有机羧酸铜盐中的至少一种，且酸根供体中羧基摩尔数与所述有机胺中胺基摩尔数之比不高于1:2；

其中所述水溶性聚合物为分子链中含有胺基官能团、含氮杂环官能团和季铵阳离子基团的聚合物。

2.根据权利要求1所述的铜表面粗化微蚀液，其特征在于：所述水溶性聚合物的重均分子量为2000-50w，且该水溶性聚合物为聚乙烯亚胺、聚乙烯亚胺盐、聚二甲基二烯丙基氯化铵、聚二甲基二烯丙基氯化铵共聚物、二氨基脲聚合物、聚乙烯基咪唑、聚乙烯基咪唑盐、季铵化咪唑、乙烯基咪唑与乙烯吡咯烷酮形成的共聚物中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的铜表面粗化微蚀液，其特征在于：所述有机胺的重均分子量不高于500。

4.根据权利要求3所述的铜表面粗化微蚀液，其特征在于：所述烷基醇胺为单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N-乙基乙醇胺、N-丁基乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、N,N-二乙基乙醇胺、N,N-二丁基乙醇胺、二甘醇胺、N-甲基二乙醇胺、N-丁基二乙醇胺、丙醇胺和异丙醇胺中的至少一种。

5.根据权利要求3所述的铜表面粗化微蚀液，其特征在于：所述羟基含氮杂环化合物为羟乙基吡啶和羟乙基哌嗪中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的铜表面粗化微蚀液，其特征在于：所述酸根供体中的单脂肪羧酸为甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、丙烯酸、甲基丙烯酸、丁烯酸、异丁烯酸、羟基乙酸、乳酸、羟基三甲基乙酸、一氯乙酸、二氯乙酸、三氯乙酸、氯基丙酸、溴代乙酸和2-溴丙酸中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的铜表面粗化微蚀液，其特征在于：所述酸根供体中的有机羧酸铜盐为甲酸铜、乙酸铜、草酸铜、柠檬酸铜和酒石酸铜中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的铜表面粗化微蚀液，其特征在于：所述卤离子源为氯化物、溴化物和所述有机胺的卤酸盐中的至少一种。

9.根据权利要求1所述的铜表面粗化微蚀液，其特征在于：所述二价铜离子源为氯化铜、溴化铜、氧化铜、氢氧化铜、碱式碳酸铜、甲酸铜、乙酸铜、草酸铜、柠檬酸铜、酒石酸铜、乙二胺铜和乙醇胺铜中的至少一种。

10.一种权利要求1至9中任一权利要求所述铜表面粗化微蚀液的使用方法，其特征在于：所述铜表面粗化微蚀液的使用温度为25-35℃。