[发明专利]台车和基片处理装置的构成部件的支承方法

权利要求书

1.一种台车，其用于在基片处理装置的外部支承通过向横向滑动而能够被取出至外部的该基片处理装置的构成部件，其特征在于，包括：

台车主体，其具有车轮而能够在地面上移动，且包括支承所述构成部件的第1支承部；和

第2支承部，其以能够在使所述台车的所述横向的宽度成为第1长度的第1位置与使该横向的宽度成为比第1长度大的第2长度的第2位置之间移动的方式与所述台车主体连接，用于至少在所述第2位置与所述第1支承部一起支承所述构成部件。

2.如权利要求1所述的台车，其特征在于：

当使所述构成部件被取出的横向为后方时，

所述第1支承部和所述第2支承部的组在左右方向上分开地设置，以分别支承所述构成部件的左右侧。

3.如权利要求2所述的台车，其特征在于：

各所述组中的第1支承部和所述第2支承部以在前后方向上排列的方式设置，并且该前后方向上的相对位置是可变更的。

4.如权利要求3所述的台车，其特征在于：

设置有由能够相互滑动的第1滑动部件和第2滑动部件构成的滑动部，

在所述第1支承部、所述第2支承部分别设置有所述第1滑动部件、所述第2滑动部件。

5.如权利要求4所述的台车，其特征在于：

所述第2支承部包括：在前后方向上设置于所述第1支承部侧的中间支承部；和相对于该中间支承部设置于与所述第1支承部相反的一侧的端部侧支承部，

所述滑动部设置有多个，

在所述第1支承部、所述中间支承部分别设置有一个所述滑动部中的所述第1滑动部件、所述第2滑动部件，该第1支承部和该中间支承部的前后方向上的相对位置是可变更的，

在所述端部侧支承部、所述中间支承部分别设置有另一个所述滑动部中的所述第1滑动部件、所述第2滑动部件，该端部侧支承部和该中间支承部的前后方向上的相对位置是可变更的。

6.如权利要求2所述的台车，其特征在于：

设置有能够相对于所述第1支承部变更前后方向的相对位置的基部，

所述第2支承部设置成能够在所述基部的左右方向上移动，

所述第1位置处的所述第2支承部相对于所述第1支承部在左右方向上排列，

所述第2位置处的所述第2支承部相对于所述第1支承部在前后方向上排列。

7.如权利要求2所述的台车，其特征在于：

各所述组中的所述第2支承部能够绕转动轴转动，

该第2支承部在所述第2位置相对于所述转动轴在与所述第1支承部侧相反的一侧伸长。

8.如权利要求7所述的台车，其特征在于：

所述转动轴是沿着纵向的轴。

9.如权利要求1～8中任一项所述的台车，其特征在于：

所述第1支承部和所述第2支承部在纵向上设置成多层。

10.如权利要求9所述的台车，其特征在于：

各层中的所述第2支承部以能够一并地在所述第1位置与所述第2位置之间进行位置变更的方式相互经由连接部件相互连接。

11.如权利要求10所述的台车，其特征在于：

在所述连接部件设置有用于以在所述地面上滚动的方式移动的车轮。

12.如权利要求1～11中任一项所述的台车，其特征在于：

在所述第1支承部和所述第2支承部分别设置有滚动体，该滚动体从下方支承所述构成部件中的被支承部，且伴随着该被支承部的移动而滚动。