[发明专利]一种镜片六自由度柔顺机构运动台

权利要求书

1.一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：包括：镜片(1)、XYθ_Z微动调节机构以及Zθ_Xθ_Y微动调节机构；XYθ_Z微动调节机构包含柔性铰链(2)，X向驱动电机(3.1)、Y1向驱动电机(3.2)、Y2向驱动电机(3.3)，电机轴端采用螺纹连接X向驱动装置(4.1)、Y1向驱动装置(4.2)及Y2向驱动装置(4.3)，并在附近分别布置X向消隙装置(5.1)、Y1向消隙装置(5.2)及Y2向消隙装置(5.3)；Zθ_Xθ_Y微动调节机构中包含上动板(6)、Z1向电机(7.1)、Z2向电机(7.2)、Z3向电机(7.3)、第一顶杆(8.1)、第二顶杆(8.2)、第三顶杆(8.3)及镜筒(9)，镜筒(9)上沿圆周均布三处Z向调节柔性铰链即第一Z向调节柔性铰链(9.1)、第二Z向调节柔性铰链(9.2)、第三Z向调节柔性铰链(9.3)，通过同步驱动三个Z向调节柔性铰链即第一Z向调节柔性铰链(9.1)、第二Z向调节柔性铰链(9.2)、第三Z向调节柔性铰链(9.3)实现镜片Z方向单向调节，通过差动驱动三个Z向调节柔性铰链即第一Z向调节柔性铰链(9.1)、第二Z向调节柔性铰链(9.2)、第三Z向调节柔性铰链(9.3)分别实现镜片θ_X、θ_Y方向单向调节，柔性铰链(2)与上动板(6)间采用螺钉连接，实现XYθ_Z微动调节机构和Zθ_Xθ_Y微动调节机构的连接。

2.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：所述XYθ_Z微动调节机构的X向驱动电机(3.1)、Y1向驱动电机(3.2)、Y2向驱动电机(3.3)沿镜片周向均布，三个电机产生的驱动力方向与镜片中心的力臂相等；X向驱动电机(3.1)指向X正向，通过X向驱动电机(3.1)驱动柔性铰链(2)，同时驱动Y1向驱动电机(3.2)收缩及Y2向驱动电机(3.3)伸长以抵消X向驱动产生的力矩，实现镜片X方向单向调节；X向驱动电机(3.1)不动，通过差动驱动Y1向驱动电机(3.2)和Y2向驱动电机(3.3)，实现镜片Y方向单向调节；通过同步驱动X向驱动电机(3.1)、Y向驱动电机(3.2)及Y2向驱动电机(3.3)，实现镜片θ_Z方向单向调节。

3.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：所述XYθ_Z微动调节机构的柔性铰链(2)分两层，最内层(2.1)为运动层，最外层(2.2)为固定层，X向驱动电机(3.1)、Y1向驱动电机(3.2)、Y2向驱动电机(3.3)均安装在最外层(2.2)上。

4.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：所述XYθ_Z微动调节机构的X向驱动装置(4.1)、Y1向驱动装置(4.2)及Y2向驱动装置(4.3)结构及安装方式完全相同，均包含一个球头杆和一个球头杆套，X向驱动装置(4.1)、Y1向驱动装置(4.2)及Y2向驱动装置(4.3)的三个球头杆—X向球头杆(11.1)、Y向球头杆(11.2)及Y2向球头杆(11.3)分别位于在X向球头杆套(12.1)、Y向球头杆套(12.2)及Y2向球头杆套(12.3)圆柱面内，X向球头杆套(12.1)、Y向球头杆套(12.2)及Y2向球头杆套(12.3)分别采用螺钉连接在柔性铰链(2)的最内层(2.1)上。

5.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：所述XYθ_Z微动调节机构的X向球头杆(11.1)、Y向球头杆(11.2)及Y2向球头杆(11.3)与X向球头杆套(12.1)、Y向球头杆套(12.2)及Y2向球头杆套(12.3)间均存在间隙，且相互配合的球头杆和球头杆套在加工过程中需配做，保证三组配合的间隙量基本相同。