[发明专利]一种旋转稀土靶材及其制备方法与应用

权利要求书

1.一种旋转稀土靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在真空无氧环境下，以电磁复合场复合温喷涂的方式于靶材背管表面沉积喷涂粉末；

其中，温喷涂的喷涂温度为50-800℃；喷涂粉末包括稀土金属粉末；

所述靶材背管的内部设有沿所述靶材背管轴向延伸的永磁铁棒，制备过程中，所述靶材背管处于旋转状态；

沉积前，对所述靶材背管进行预热处理，预热处理是通过将所述靶材背管与外接电池通电实现；预热处理温度为100-200℃；

温喷涂的工艺条件包括：所述靶材背管表面与喷枪的相对线速度为1000-1200mm/s，喷涂距离为300-320mm，氧气流量为180-200L/min，丙烷流量为40-50L/min，压缩空气流量为300-320L/min，送粉速率为150-250g/min，送粉气体为惰性气体或氮气；

沉积过程中，所述喷枪的移动速度为10-30mm/s；所述喷枪的移动方向与所述靶材背管的轴向平行；

温喷涂所用的喷枪的喷射方向与所述靶材背管的A切面垂直，所述A切面为所述喷枪的喷射方向所在的直线与所述靶材背管交点处的切面；

所述喷涂粉末的平均粒径为D₅₀＝20-60μm；

所述靶材背管的旋转速度为100-200r/min。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述靶材背管的两端分别通过电刷与外接电池的正负极电连接。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，预热处理前，还包括对所述靶材背管进行激光清洗处理。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，激光清洗处理后的所述靶材背管的表面粗糙度为2-3.5μm。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，沉积过程中，所述靶材背管的旋转速度为150-180r/min。

6.根据权利要求1-5任一项所述的制备方法，其特征在于，所述喷涂粉末中所含的稀土元素包括镝、钪、钇和镧中的至少一种。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述喷涂粉末的氧含量小于1200ppm。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述靶材背管的材质为不锈钢；和/或，所述永磁铁棒中的永磁材料包括铝镍钴、钐钴或钕铁硼。

9.一种旋转稀土靶材，其特征在于，经权利要求1-8任一项所述的制备方法制备而得。

10.根据权利要求9所述的旋转稀土靶材，其特征在于，所述旋转稀土靶材的靶材背管表面的沉积体的厚度为8-15mm。

11.如权利要求9或10所述的旋转稀土靶材的应用，其特征在于，所述旋转稀土靶材用于制备电子元器件。