[发明专利]双面检测方法及双面检测设备

说明书

本发明公开一种双面检测方法及双面检测设备，第一步：取放料机构将一个待检测的产品放至料盘中转位后，双工位移栽机构中的取放装置A移动至料盘中转位抓取一个待检测的产品；第二步：取放装置A将一个待检测的产品放至双面检测工位进行检测；第三步：取放装置B移动至料盘中转位抓取该待检测的产品；第四步：取放装置A将检测完成后的产品抓取，取放装置B将待检测的产品放至双面检测工位检测；第五步：取放装置B在料盘中转位抓取该待检测的产品；取放装置A将检测完成后的产品放至料盘中转位，取放料机构将检测完成后的产品下料；重复第四步和第五步。采用双工位移栽机构，缩短了两次检测上料的时间间隔，配合双面检测工位提高产品的检测效率。

技术领域

本发明涉及设备领域技术，尤其是指一种双面检测方法及双面检测设备，其主要应用于双面晶圆的检测。

背景技术

双面晶圆的生产过程中，良品率是很重要的条件，对于双面晶圆的品质要求极为严格，在大批量生产的时候，往往需要对双面晶圆进行外观检测，比如：尺寸、破损、气孔、裂痕不良等。

目前双面晶圆通常是通过人工来手动进行外观检测，人工费时费力，因此，多数采用抽检的方法，从而在大批量生产时，不能确保双面晶圆的质量；后来出现有晶圆检测设备，但其仅可单面检测，因此对晶圆的双面需要进行分别进行正、反两次检测，导致检测工作效率难以进一步提升。而且，两次检测也需要多次定位，影响检测精度及检测质量。

因此，有必要设计一种新的晶圆检测设备来解决上述问题。

发明内容

有鉴于此，本发明针对现有技术存在之缺失，其主要目的是提供一种双面检测方法及双面检测设备，其双面晶圆在检测中采用双工位移栽机构进行检测产品的取和放，缩短了两次检测上料的时间间隔，提高了产品的检测效率，以及配合双面检测工位的检测，一次性对正反两面进行检测，进一步提高产品的检测效率。

为实现上述目的，本发明采用如下之技术方案：

一种双面检测方法，包括如下步骤：

第一步：取放料机构将一个待检测的产品放至料盘中转位后，双工位移栽机构中的取放装置A移动至料盘中转位抓取一个待检测的产品，此时，双工位移栽机构中的取放装置B呈空闲状态，其中，取放装置A和取放装置B依次布置；

第二步：取放装置A将一个待检测的产品放至双面检测工位进行检测，此时，取放装置A和取放装置B均呈空闲状态；

第三步：取放装置B移动至料盘中转位抓取下一个待检测的产品前，取放料机构将该待检测的产品放至料盘中转位；然后，取放装置B移动至料盘中转位抓取该待检测的产品后，取放装置A、取放装置B均移动至等待区域；

第四步：取放装置A将检测完成后的产品抓取，取放装置B将待检测的产品放至双面检测工位进行检测，此时，取放装置B呈空闲状态；

第五步：取放装置B移动至料盘中转位抓取下一个待检测的产品前，取放料机构将该待检测的产品放至料盘中转位后，取放装置B在料盘中转位抓取该待检测的产品；然后，取放装置A将检测完成后的产品放至料盘中转位，取放料机构将检测完成后的产品下料，取放装置A、取放装置B均移动至等待区域，此时，取放装置A呈空闲状态；

第六步：重复第四步和第五步。

作为一种优选方案，在第一步前将装有待检测产品的料仓提篮放至上料位；取放料机构从料仓提篮抓取一个待检测的产品；

在第五步中，取放料机构将检测完成后的产品放入料仓提篮；

在第六步中，直至料仓提篮内的待检测产品全部完成检测后停止，然后取下料仓提篮，完成一批产品的检测。

作为一种优选方案，所述料仓提篮设置有两个，在第六步中，直至第一个料仓提篮内的待检测产品全部完成检测后，取放料机构从第二个料仓提篮抓取待检测的产品，实现连续上料，同时取下产品检测完成的第一个料仓提篮后，重新放上一个含待检测的产品的料仓提篮。