[发明专利]一种柔性透明电极及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性透明电极的制备方法，其特征在于，在聚合物衬底表面制备金属网格电极；在玻璃衬底表面旋涂或刮涂导电聚合物，经退火处理得到厚度50～100nm的导电聚合物；采用热压工艺将金属网格电极覆盖在导电聚合物上，再将导电聚合物反揭到金属网格的表面形成复合透明电极。

2.根据权利要求1所述柔性透明电极的制备方法，其特征在于，退火处理的温度为100～120℃，时间为10～20min。

3.根据权利要求1所述柔性透明电极的制备方法，其特征在于，热压处理的温度为140～160℃，压强为10～15MPa，时间为45～90min。

4.根据权利要求1所述柔性透明电极的制备方法，其特征在于，聚合物衬底为聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜或聚酰亚胺薄膜。

5.根据权利要求1所述柔性透明电极的制备方法，其特征在于，金属网格的材料为Ag，Cu，Au，Al的单体或合金的一种。

6.根据权利要求1所述柔性透明电极的制备方法，其特征在于，导电聚合物为PEDOT:PSS。

7.根据权利要求1所述柔性透明电极的制备方法，其特征在于，采用激光直写、喷墨打印、滚筒印刷、掩膜或金属沉积方法在聚合物衬底表面制备金属网格电极。

8.根据权利要求1所述柔性透明电极的制备方法，其特征在于，旋涂的速度为500～800rpm，时间为30～60秒。

9.根据权利要求1至8中任一项所述柔性透明电极的制备方法制备的柔性透明电极，其特征在于，包括金属网格，金属网格为微米级结构，设置在聚合物衬底上，在金属网格上利用热压反揭法制备透明的导电聚合物，得到金属网格嵌入聚合物衬底的结构并被导电聚合物覆盖。

10.根据权利要求9所述的柔性透明电极，其特征在于，复合透明电极在350～800nm的可见光区内的透过率为80％～95％，方阻为0.1～2Ω/sq，表面均方粗糙度为2.3～2.5nm。