[发明专利]一种高纯高球形度熔融石英粉的制备方法在审
申请号: | 202111527143.4 | 申请日: | 2021-12-15 |
公开(公告)号: | CN114132934A | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 郑海;胡增涵;唐明亮;吴健;程尚栩;蒋丽薇;陈圆圆 | 申请(专利权)人: | 南京工业大学东海先进硅基材料研究院 |
主分类号: | C01B33/12 | 分类号: | C01B33/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 222300 江苏省连云港*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高纯 球形 熔融 石英粉 制备 方法 | ||
1.一种高纯高球形度熔融石英粉,其特征在于,其所用原料为废旧石英坩埚。
2.一种高纯高球形度熔融石英粉,其特征在于,其纯度SiO2≥99.996%,球形度≥0.65。
3.一种高纯高球形度熔融石英粉的制备方法,其特征在于,经提纯工艺处理得到的高纯熔融石英粉经表面改性、整形处理,得到高球形度的高纯熔融石英粉。
4.根据权利要求3所述的一种高纯高球形度熔融石英粉的制备方法,其特征在于,表面改性方法为有机改性处理,所用试剂为硅烷偶联剂KH560,浓度为30-60wt%。
5.根据权利要求3所述的一种高纯高球形度熔融石英粉的制备方法,其特征在于,整形处理方法为火焰喷射整形,其处理温度700-800℃,送粉速率为60-90g/min。
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