[发明专利]一种高沉积率的OVD反应装置和OVD反应方法有效
申请号: | 202111529506.8 | 申请日: | 2021-12-14 |
公开(公告)号: | CN114031287B | 公开(公告)日: | 2023-09-22 |
发明(设计)人: | 赵辉 | 申请(专利权)人: | 藤仓烽火光电材料科技有限公司 |
主分类号: | C03B37/014 | 分类号: | C03B37/014 |
代理公司: | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人: | 彭程程 |
地址: | 430205 湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 沉积 ovd 反应 装置 方法 | ||
1.一种高沉积率的OVD反应装置,其特征在于,包括:
至少一个喷灯(1),其设置于光纤预制棒(3)的径向底部,喷灯(1)的喷口朝向光纤预制棒(3)且喷射反应火焰;
反应容器(8),罩设在光纤预制棒(3)外,其包括在竖直方向相对设置的进口(81)和出口(82),所述喷灯(1)部分伸入进口(81)内;
给气装置,其包括设置在光纤预制棒(3)侧面的至少一个给气通道(2),给气通道(2)与反应容器(8)连通,且每一个喷灯(1)对应一个给气通道(2);
所述给气通道(2)的轴线朝向所述出口(82)方向倾斜,并且给气通道(2)喷出的降温气流落在光纤预制棒(3)不与反应火焰接触的表面;
所述给气通道(2)为多边形筒状结构;
其中部分侧壁为固定设置的固定板(21);
其余侧壁为可相对于固定板(21)移动的活动板(22);
固定板(21)和活动板(22)围设区域的截面积为给气通道(2)的出风面积,且出风面积随活动板(22)的移动增大或减小;
还包括用于控制活动板移动的控制器(4);
当光纤预制棒(3)外径增大时,活动板(22)相对固定板(21)远离,给气通道(2)的出风面积增大;
还包括:
用于测量光纤预制棒(3)外径的外径测量仪(5),其安装于反应容器(8)侧壁,且正对光纤预制棒(3),所述外径测量仪(5)还与控制器(4)相连接;
所述给气装置还包括用于控制给气通道(2)气体流量的流量调节器(6),其安装于给气通道(2)内;
所述流量调节器(6)还与控制器(4)连接;
还包括:
用于测量光纤预制棒(3)表面温度的红外测温仪(7),其设置于反应容器(8)内壁,且正对光纤预制棒(3);
所述红外测温仪(7)还与控制器(4)连接;
当红外测温仪(7)测得光纤预制棒(3)表面温度升高时,流量调节器(6)增大给气通道(2)的气体流量;
所述给气通道(2)喷出的气流方向与所述光纤预制棒(3)的转动方向相对。
2.一种基于权利要求1所述的一种高沉积率的OVD反应装置的OVD反应方法,其特征在于,包括如下步骤:
将喷灯(1)点燃,向光纤预制棒(3)的起始棒(31)喷射反应火焰,同时起始棒(31)开始旋转,在转动的起始棒(31)外部沉积反应火焰生成的玻璃微粒;
利用给气通道(2)朝向光纤预制棒(3)喷气,用于给光纤预制棒(3)的沉积体(32)表面降温。
3.根据权利要求2所述的OVD反应方法,其特征在于,包括:
所述给气通道(2)为多边形筒状结构;
固定板(21)和活动板(22)围设区域的截面积为给气通道(2)的出风面积,且出风面积随活动板(22)的移动增大或减小。
4.根据权利要求2所述的OVD反应方法,其特征在于,包括:
所述给气装置还包括用于控制给气通道(2)气体流量的流量调节器(6),其安装于给气通道(2)内。
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