[发明专利]一种高沉积率的OVD反应装置和OVD反应方法有效

专利信息
申请号: 202111529506.8 申请日: 2021-12-14
公开(公告)号: CN114031287B 公开(公告)日: 2023-09-22
发明(设计)人: 赵辉 申请(专利权)人: 藤仓烽火光电材料科技有限公司
主分类号: C03B37/014 分类号: C03B37/014
代理公司: 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 代理人: 彭程程
地址: 430205 湖北省武汉*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 沉积 ovd 反应 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种高沉积率的OVD反应装置,其特征在于,包括:

至少一个喷灯(1),其设置于光纤预制棒(3)的径向底部,喷灯(1)的喷口朝向光纤预制棒(3)且喷射反应火焰;

反应容器(8),罩设在光纤预制棒(3)外,其包括在竖直方向相对设置的进口(81)和出口(82),所述喷灯(1)部分伸入进口(81)内;

给气装置,其包括设置在光纤预制棒(3)侧面的至少一个给气通道(2),给气通道(2)与反应容器(8)连通,且每一个喷灯(1)对应一个给气通道(2);

所述给气通道(2)的轴线朝向所述出口(82)方向倾斜,并且给气通道(2)喷出的降温气流落在光纤预制棒(3)不与反应火焰接触的表面;

所述给气通道(2)为多边形筒状结构;

其中部分侧壁为固定设置的固定板(21);

其余侧壁为可相对于固定板(21)移动的活动板(22);

固定板(21)和活动板(22)围设区域的截面积为给气通道(2)的出风面积,且出风面积随活动板(22)的移动增大或减小;

还包括用于控制活动板移动的控制器(4);

当光纤预制棒(3)外径增大时,活动板(22)相对固定板(21)远离,给气通道(2)的出风面积增大;

还包括:

用于测量光纤预制棒(3)外径的外径测量仪(5),其安装于反应容器(8)侧壁,且正对光纤预制棒(3),所述外径测量仪(5)还与控制器(4)相连接;

所述给气装置还包括用于控制给气通道(2)气体流量的流量调节器(6),其安装于给气通道(2)内;

所述流量调节器(6)还与控制器(4)连接;

还包括:

用于测量光纤预制棒(3)表面温度的红外测温仪(7),其设置于反应容器(8)内壁,且正对光纤预制棒(3);

所述红外测温仪(7)还与控制器(4)连接;

当红外测温仪(7)测得光纤预制棒(3)表面温度升高时,流量调节器(6)增大给气通道(2)的气体流量;

所述给气通道(2)喷出的气流方向与所述光纤预制棒(3)的转动方向相对。

2.一种基于权利要求1所述的一种高沉积率的OVD反应装置的OVD反应方法,其特征在于,包括如下步骤:

将喷灯(1)点燃,向光纤预制棒(3)的起始棒(31)喷射反应火焰,同时起始棒(31)开始旋转,在转动的起始棒(31)外部沉积反应火焰生成的玻璃微粒;

利用给气通道(2)朝向光纤预制棒(3)喷气,用于给光纤预制棒(3)的沉积体(32)表面降温。

3.根据权利要求2所述的OVD反应方法,其特征在于,包括:

所述给气通道(2)为多边形筒状结构;

固定板(21)和活动板(22)围设区域的截面积为给气通道(2)的出风面积,且出风面积随活动板(22)的移动增大或减小。

4.根据权利要求2所述的OVD反应方法,其特征在于,包括:

所述给气装置还包括用于控制给气通道(2)气体流量的流量调节器(6),其安装于给气通道(2)内。

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