[发明专利]具有端子部的接合脆性基板的划线方法在审
申请号: | 202111531462.2 | 申请日: | 2021-12-14 |
公开(公告)号: | CN114620932A | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 朴主亨;徐镛植;吕寅奎 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/07 | 分类号: | C03B33/07;C03B33/03 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;刘言 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 端子 接合 脆性 划线 方法 | ||
1.一种具有端子部的接合脆性基板的划线方法,在具有端子部接合脆性基板上形成划线线路,包含:
划分设定阶段,将划线轮的行进预定路径分为预切割区间、正式切割区间、端子部切割区间;
轮定位阶段,使划线轮定位于所述预切割区间的行进开始点;
预切割区间线路形成阶段,使位于行进开始点的划线轮在接合脆性基板上加压并行进,并加速到设定的速度;
正式切割区间线路形成阶段,使通过了所述预切割区间的划线轮以设定的速度行进,并在正式切割区间形成划线线路;
减速阶段,在通过了所述正式切割区间的划线轮到达端子部之前使划线轮的行进速度减速,并每隔比减速前短的移动距离接收每单位时间输入的控制信号;以及
端子部切割区间线路形成阶段,使所述划线轮直接以在所述减速阶段减速后的行进速度通过端子部切割区间,并在端子部上形成划线线路。
2.根据权利要求1所述的具有端子部的接合脆性基板的划线方法,其特征在于,
所述端子部切割区间线路形成阶段包含如下过程:
存储即将进入所述端子部之前的划线轮的位置,并且将在正式切割区间内的切入量重置为当前位置的切入量,在重置后,以所述当前位置为基准,将在端子部切割区间中赋予的切入量变更为目标位置。
3.根据权利要求1所述的具有端子部的接合脆性基板的划线方法,其特征在于,
对通过所述预切割区间及所述端子部切割区间的划线轮赋予的平均切入量为对所述正式切割区间中的划线轮赋予的切入量以下。
4.根据权利要求1所述的具有端子部的接合脆性基板的划线方法,其特征在于,
所述划线轮在所述端子部切割区间对接合脆性基板进行加压的轮载荷与在所述正式切割区间对接合脆性基板进行加压的轮载荷相比而言相对较大。
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