[发明专利]一种晶圆水平缓存装置

权利要求书

1.一种晶圆水平缓存装置，其特征在于，包括支撑架和检测组件，所述支撑架用于水平支撑晶圆，所述检测组件设置于固定架，所述固定架位于水平支撑晶圆的两侧；所述检测组件包括信号收发部和匹配设置的反射部，其安装于所述固定架，所述信号收发部输出的光学信号朝向所述反射部发射，所述反射部将光学信号反射至所述信号收发部；所述检测组件根据所述信号收发部的接收的光学信号判定所述支撑架是否放置晶圆；所述检测组件还包括罩设于所述反射部的侧面的遮光板,和/或，还包括用于检测光学信号强度的光强传感器。

2.如权利要求1所述的晶圆水平缓存装置，其特征在于，所述遮光板的表面配置有非镜面结构，以防止所述信号收发部发射的光线反射而干扰检测精度。

3.如权利要求2所述的晶圆水平缓存装置，其特征在于，所述非镜面结构包括多个自遮光板的侧面向外延伸的柱状结构，所述柱状结构均匀设置于遮光板的表面。

4.如权利要求3所述的晶圆水平缓存装置，其特征在于，所述柱状结构为圆柱体，所述圆柱体的半径为0.2-0.5mm，其高度小于或等于2mm。

5.如权利要求1所述的晶圆水平缓存装置，其特征在于，所述光强传感器设置于所述反射部并与所述信号收发部位置相对，以检测所述信号收发部发射的光学信号的强度。

6.如权利要求1所述的晶圆水平缓存装置，其特征在于，所述光强传感器设置于反射部与遮光板之间，所述遮光板配置有透光孔，所述信号收发部的光学信号经由所述透光孔入射至光强传感器。

7.如权利要求1所述的晶圆水平缓存装置，其特征在于，所述支撑架的数量至少一个，其沿固定架的竖直方向间隔均匀设置；相邻支撑架配置的检测组件的信号收发部和反射部交错设置。