[发明专利]一种氧化铟钛镱粉体及其制备方法与应用在审
申请号: | 202111536233.X | 申请日: | 2021-12-15 |
公开(公告)号: | CN114163216A | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
发明(设计)人: | 李晴晴;邵学亮;李开杰;张来稳;王奇峰 | 申请(专利权)人: | 先导薄膜材料(广东)有限公司 |
主分类号: | C04B35/01 | 分类号: | C04B35/01;C04B35/626;C23C14/34 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜希文;郝传鑫 |
地址: | 511517 广东省清*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氧化 铟钛镱粉体 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种氧化铟钛镱粉体,其特征在于,所述氧化铟钛镱粉体的结构式为In1-x-yTixYbyO;
其中,0.001≤x≤0.171,0.001≤y≤0.139;
所述粉体的D50=0.402-0.475μm,D10≥0.196μm,D90≤0.586μm,粒度分布系数P=(D90-D10)/D50≤0.746。
2.根据权利要求1所述的氧化铟钛镱粉体,其特征在于,所述氧化铟钛镱粉体的原料包括纳米钛化合物、纳米氧化铟和纳米镱化合物。
3.根据权利要求2所述的氧化铟钛镱粉体,其特征在于,所述氧化铟钛镱粉体的原料中,纳米钛化合物的质量百分数为1-10%,纳米镱化合物的质量百分数为1-20%,纳米氧化铟的质量百分数为70-98%。
4.根据权利要求2所述的氧化铟钛镱粉体,其特征在于,所述纳米钛化合物为纳米氧化钛、纳米镱化合物为纳米氧化镱。
5.如权利要求1-4任一项所述氧化铟钛镱粉体的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:将纳米氧化钛、纳米氧化镱、分散剂加入到纯水中,分散均匀后研磨,得混合物Ⅰ;接着往混合物Ⅰ中加入纳米氧化铟并补充加入分散剂,分散均匀后研磨,得混合物Ⅱ;然后加入粘结剂加入混合物Ⅱ中分散均匀后研磨,得混合物Ⅲ;最后将混合物Ⅲ进行喷雾造粒、混料、筛分,得氧化铟钛镱粉体。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述分散剂为聚乙烯吡咯烷酮、十二烷基苯磺酸钠或十六烷基苯磺酸钠。
7.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述混合物Ⅰ、混合物Ⅱ和混合物Ⅲ的D50都小于1μm。
8.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述粘结剂为聚乙烯醇和聚乙二醇的混合物、聚乙烯醇或聚乙烯醇缩丁醛。
9.如权利要求1-4任一项所述氧化铟钛镱粉体在制备氧化铟钛镱靶材上的应用。
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