[发明专利]一种轴承钢表面固载二硫化钼薄膜的方法在审
| 申请号： | 202111536447.7 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN114351103A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 马捷;黄俊奇;李洪义;魏建忠;陈树群;刘悦;谭翠翠;王越 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张立改 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 轴承钢 表面 二硫化钼 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种轴承钢表面固载二硫化钼薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)将淬火轴承钢打磨后镜面抛光，用丙酮超声清洗除掉表面油污，再放入酒精中清洗，干燥后待用；
2)预净化处理后的淬火轴承钢经过脉冲激光器进行微孔阵列制备，抛光除掉表面氧化层，后通过酒精超声清洗除掉表面残渣，干燥待用；
3)以具有微孔阵列的淬火轴承钢表面作为基体，MoS2为靶材，采用射频电源进行溅射，经过抽真空、加热、保温、预溅射、溅射，在多孔阵列结构轴承钢上溅射得到MoS2薄膜，冷却至室温取出。
2.按照权利要求1所述的一种轴承钢表面固载二硫化钼薄膜的方法，其特征在于，其中步骤3)进行溅射时，背底真空度为5x10-4，预溅射时间180S，氩气压力为1Pa，加热温度为室温-200℃，溅射功率为100W-200W，溅射时间为60min-120min。
3.按照权利要求1所述的一种轴承钢表面固载二硫化钼薄膜的方法，其特征在于，通过脉冲激光器进行微孔制备再抛光除掉表面氧化层，微孔孔径80微米，间距200微米，深度8微米。
4.按照权利要求1-3任一项所述的方法制备得到的轴承钢。
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